东京毅力科创株式会社植松治志获国家专利权
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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利显示方法和基板处理装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113947517B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110777046.4,技术领域涉及:G06F11/30;该发明授权显示方法和基板处理装置是由植松治志;今井乡设计研发完成,并于2021-07-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本显示方法和基板处理装置在说明书摘要公布了:本发明提供一种显示方法和基板处理装置。该显示方法用于显示表示与基板处理有关的信息的多个参数,包括以下工序:获取以预先设定的周期进行采样得到的多个所述参数的测定值、以及与所述测定值的采样时间有关的信息;基于与所述测定值的采样时间有关的信息,以进行了采样的顺序在多个所述参数的测定值中提取发生了随时间变化的测定值,或者提取所述发生了随时间变化的测定值和在紧挨该测定值之前进行采样得到的测定值;将提取出的多个所述参数的测定值同与所述测定值的采样时间有关的信息相关联地存储于存储器部;基于存储器部中存储的与所述测定值的采样时间有关的信息,将多个所述参数的测定值绘制成曲线图;以及显示绘制出的所述曲线图。
本发明授权显示方法和基板处理装置在权利要求书中公布了:1.一种显示方法,用于显示表示与基板处理有关的信息的多个参数,所述显示方法包括以下工序: 获取以预先设定的周期进行采样得到的多个所述参数的测定值、以及与所述测定值的采样时间有关的信息; 在将多个所述参数的测定值存储于存储器部之前,基于与所述测定值的采样时间有关的信息,按照进行了采样的顺序在多个所述参数的测定值中提取发生了随时间变化的测定值,或者提取所述发生了随时间变化的测定值和在紧挨该发生了随时间变化的测定值之前进行采样得到的测定值; 将提取出的多个所述参数的测定值同与所述测定值的采样时间有关的信息相关联地存储于所述存储器部; 基于存储器部中存储的与所述测定值的采样时间有关的信息,将多个所述参数的测定值绘制成曲线图;以及 显示绘制出的所述曲线图。
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