FEI 公司P·多纳获国家专利权
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龙图腾网获悉FEI 公司申请的专利轴向对准组件和包含此类对准组件的带电粒子显微镜获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113707521B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110540499.5,技术领域涉及:H01J37/20;该发明授权轴向对准组件和包含此类对准组件的带电粒子显微镜是由P·多纳;C·M·斯密特设计研发完成,并于2021-05-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本轴向对准组件和包含此类对准组件的带电粒子显微镜在说明书摘要公布了:本发明涉及一种轴向对准组件(100),其包含:第一主体和第二主体。所述第一主体具有基本上圆柱形外护套以及第一对准轴线。所述第二主体包含基本上圆柱形内护套,并且具有第二对准轴线。所述第二主体相对于所述第一主体定位成使得所述内护套面向所述外护套,并且在所述内护套与所述外护套之间形成基本上环形凹部。所述轴向对准组件进一步包含位于所述环形凹部内的多个弹性元件,其中每个弹性元件与所述第一主体的所述外护套和所述第二主体的所述内护套接触。每个弹性元件将力施加到所述外护套和所述内护套上,以对准所述第一对准轴线和所述第二对准轴线。
本发明授权轴向对准组件和包含此类对准组件的带电粒子显微镜在权利要求书中公布了:1.一种轴向对准组件100,其包含: -第一主体101,其包含基本上圆柱形外护套103,并且具有第一对准轴线A1; -第二主体201,其包含基本上圆柱形内护套203并且具有第二对准轴线A2,其中所述第二主体201相对于所述第一主体101定位成使得所述内护套203面向所述外护套103并且在所述内护套与所述外护套之间形成基本上环形凹部401;以及 -多个弹性元件301,302,其位于所述环形凹部401内,其中每个弹性元件301,302与所述第一主体101的所述外护套103和所述第二主体201的所述内护套203接触,并且将力施加到所述外护套103和所述内护套203上,以对准所述第一对准轴线A1和所述第二对准轴线A2。
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