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龙图腾网获悉江苏鲁汶仪器有限公司申请的专利一种用于离子源的防导电栅极固定结构及安装方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115376872B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110541464.3，技术领域涉及：H01J37/08；该发明授权一种用于离子源的防导电栅极固定结构及安装方法是由张瑶瑶;刘小波;张怀东;胡冬冬;杨超全;李晓磊;高强;许开东设计研发完成，并于2021-05-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于离子源的防导电栅极固定结构及安装方法在说明书摘要公布了：本发明属于离子束刻蚀相关配件技术领域，尤其是一种用于离子源的防导电栅极固定结构及安装方法，包括圆形的栅极支撑，栅极支撑的平面开设有同心的第一固定圆槽、第一安装圆槽、第二固定圆槽、第二安装圆槽、第三固定圆槽、第三安装圆槽；六个圆槽直径依次减小，六个圆槽距离栅极支撑平面的深度依次增加；第一安装圆槽、第二安装圆槽、第三安装圆槽上分别安装有减速栅、加速栅、屏栅，第一安装圆槽、第二安装圆槽、第三安装圆槽上具有螺纹孔，减速栅、加速栅、屏栅分别通过螺钉固定于螺纹孔内。本发明将Grid分别固定在栅极支撑上，可有效保证三个栅极订定位精确，避免栅极周圈若干定位孔，可以增加栅的强度，同时大大减少维护周期。

本发明授权一种用于离子源的防导电栅极固定结构及安装方法在权利要求书中公布了：1.一种用于离子源的防导电栅极固定结构，其特征在于：包括圆形的栅极支撑（5），栅极支撑（5）的平面开设有同心的第一固定圆槽（6）、第一安装圆槽（7）、第二固定圆槽（8）、第二安装圆槽（9）、第三固定圆槽（10）、第三安装圆槽（11）； 所述第一固定圆槽（6）、第一安装圆槽（7）、第二固定圆槽（8）、第二安装圆槽（9）、第三固定圆槽（10）、第三安装圆槽（11）的直径依次减小，所述第一固定圆槽（6）、第一安装圆槽（7）、第二固定圆槽（8）、第二安装圆槽（9）、第三固定圆槽（10）、第三安装圆槽（11）距离栅极支撑（5）平面的深度依次增加； 所述第一安装圆槽（7）上安装有减速栅（2），第二安装圆槽（9）上安装有加速栅（3），第三安装圆槽（11）上安装有屏栅（4）； 所述第二固定圆槽（8）和第三固定圆槽（10）内分别布置一圈物质沉积槽（12）； 物质沉积槽（12）的下部宽度大于上部；第二固定圆槽（8）的物质沉积槽（12）沿第二固定圆槽（8）的外边缘布置，与减速栅（2）之间具有间隙；第三固定圆槽（10）的物质沉积槽（12）沿第三固定圆槽（10）的外边缘布置，与加速栅（3）之间具有间隙。

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