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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利气体检查方法、基板处理方法以及基板处理系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113451173B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110276490.8，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权气体检查方法、基板处理方法以及基板处理系统是由松田梨沙子;网仓纪彦设计研发完成，并于2021-03-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本气体检查方法、基板处理方法以及基板处理系统在说明书摘要公布了：本发明提供一种气体检查方法、基板处理方法以及基板处理系统，能够适当地对将气体供给部中的次级阀开启时的动作进行检查，所述气体供给部用于向基板处理装置的处理容器内供给气体。气体检查方法包括以下工序：输入将次级阀开启的信号；使用次级压力计来测定从输入将次级阀开启的信号起经过了期间t的时间点的、流量控制器的节流孔的下游侧的压力P；使用次级压力计来测定从输入将次级阀开启的信号起经过了期间t的时间点的、流量控制器的节流孔的下游侧的压力的标准偏差σ；将压力P与压力的阈值P0进行比较，并将压力的标准偏差σ与压力的标准偏差的阈值σ0进行比较，用以判定次级阀的开度是否正常。

本发明授权气体检查方法、基板处理方法以及基板处理系统在权利要求书中公布了：1.一种对气体供给部进行检查的气体检查方法，其中，所述气体供给部用于向腔室内供给气体， 所述气体供给部具备： 配管，其以将气体源与所述腔室连起来的方式被连接； 流量控制器，其设置于所述配管； 初级阀，其设置于所述流量控制器的上游侧；以及 次级阀，其设置于所述流量控制器的下游侧， 其中，所述流量控制器具备： 节流孔； 初级压力计，其设置于所述节流孔的上游侧；以及 次级压力计，其设置于所述节流孔的下游侧， 所述方法包括以下工序： 工序a，在所述流量控制器中设定从输入将所述次级阀开启的信号起经过了期间t的时间点的、所述流量控制器的所述节流孔的下游侧的压力的阈值P0及所述压力的标准偏差的阈值σ0； 工序b，输入将所述次级阀开启的信号； 工序c，使用所述次级压力计来测定从输入将所述次级阀开启的信号起经过了期间t的时间点的、所述流量控制器的所述节流孔的下游侧的压力P； 工序d，使用所述次级压力计来测定从输入将所述次级阀开启的信号起经过了期间t的时间点的、所述流量控制器的所述节流孔的下游侧的压力的标准偏差σ；以及 工序e，将在所述工序c中测定出的压力P与在所述工序a中设定的所述压力的阈值P0进行比较，并将在所述工序d中测定出的压力的标准偏差σ与在所述工序a中设定的所述压力的标准偏差的阈值σ0进行比较，用以判定所述次级阀的开度是否正常。

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