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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利基板处理系统及装置、切换定时制作辅助装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113327849B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110191901.3，技术领域涉及：H01L21/3065；该发明授权基板处理系统及装置、切换定时制作辅助装置及方法是由秋元健司设计研发完成，并于2021-02-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本基板处理系统及装置、切换定时制作辅助装置及方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种基板处理系统及装置、切换定时制作辅助装置及方法，可提高处理的切换定时的精度。基板处理系统具备基板处理装置和具备获取部、选定部、决定部以及输出部的切换定时制作辅助装置。使基板处理装置基于制程来执行对基板的处理，获取部从在处理的执行期间针对基板处理装置内的气体中包含的包括原子和分子的粒子的每个性质测定气体中包含的粒子的量的测定器获取粒子的量的测定值。选定部在粒子的性质之中按照粒子的量的随时间的变化量从大到小的顺序选定预先确定的数量的粒子的性质。决定部基于选定出的粒子的每个性质的粒子的量的随时间的变化，来决定用于判定切换定时的运算式和切换条件。输出部向基板处理装置输出运算式和切换条件。

本发明授权基板处理系统及装置、切换定时制作辅助装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种基板处理系统，具备： 基板处理装置，其基于记述有多个处理的各处理的处理条件的制程来执行对基板的处理；以及 切换定时制作辅助装置，其辅助制作针对所述基板进行的所述处理的切换定时， 其中，所述切换定时制作辅助装置具有： 获取部，所述基板处理装置基于所述制程来执行对所述基板的处理，所述获取部从在所述处理的执行期间针对所述基板处理装置内的气体中包含的包括原子和分子的粒子的每个性质测定所述气体中包含的所述粒子的量的测定器获取所述粒子的量的测定值； 选定部，其在所述粒子的性质之中按照所述粒子的量的随时间的变化量从大到小的顺序选定预先确定的数量的所述粒子的性质； 决定部，其基于选定出的所述粒子的每个性质的所述粒子的量的随时间的变化，来决定用于判定所述切换定时的运算式和切换条件；以及 输出部，其向所述基板处理装置输出所述运算式和所述切换条件， 并且，所述基板处理装置具有： 执行部，其基于所述制程来执行对所述基板的处理； 计算部，其基于由所述测定器针对所述运算式中包括的所述粒子的每个性质测定出的所述粒子的量来计算所述运算式的值；以及 指示部，在所述运算式的值满足所述切换条件的情况下，所述指示部向所述执行部指示处理条件的切换。

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