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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利部件更换方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113327833B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110187517.6，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权部件更换方法是由茂山和基;永关一也;松田俊也设计研发完成，并于2021-02-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本部件更换方法在说明书摘要公布了：本发明提供部件更换方法，其能够缩短伴随消耗部件的更换的处理装置的停止期间。第一推算步骤推算处理装置的消耗部件的更换时期。确定步骤将更换时期之前的期间中的由处理装置进行的基片的处理最终结束后的时刻确定为消耗部件的可更换时刻。第二推算步骤推算部件运送装置移动至需要更换消耗部件的处理装置的位置所需的第一移动时间。第三推算步骤推算直到使已移动至需要更换消耗部件的处理装置的位置的部件运送装置成为能够进行消耗部件的更换的状态为止的准备所需的第一准备时间。发送步骤在比可更换时刻提早了第一移动时间和第一准备时间的合计时间量的时刻之前的时刻，向部件运送装置发送更换指示，来对部件运送装置指示消耗部件的更换。

本发明授权部件更换方法在权利要求书中公布了：1.一种处理系统中的部件更换方法，其特征在于： 所述处理系统具有： 处理基片的多个处理装置； 多个处理组件，其分别包括多个所述处理装置； 部件运送装置，其构成为可移动到所述多个处理组件的各个处理组件中的各个所述处理装置，来运送设置在所述处理装置中的消耗部件；以及 控制所述处理装置和所述部件运送装置的控制装置， 在所述部件更换方法中，使所述控制装置执行以下步骤： 第一推算步骤，推算所述处理装置的消耗部件的更换时期t1； 确定步骤，将所述更换时期之前的期间中的由所述处理装置进行的所述基片的处理最终结束后的时刻，确定为所述消耗部件的可更换时刻； 第二推算步骤，推算所述部件运送装置移动至需要更换所述消耗部件的所述处理装置的位置所需的第一移动时间； 第三推算步骤，推算进行准备所需的第一准备时间，其中该准备是直到使已移动至需要更换所述消耗部件的所述处理装置的位置的所述部件运送装置成为可更换所述消耗部件的状态为止的准备； 发送步骤，在比所述可更换时刻提早了所述第一移动时间和所述第一准备时间的合计时间的时刻之前的时刻，向所述部件运送装置发送更换指示，来对所述部件运送装置指示所述消耗部件的更换。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人东京毅力科创株式会社，其通讯地址为：日本东京都；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。