HOYA株式会社柳敏相获国家专利权
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龙图腾网获悉HOYA株式会社申请的专利光掩模、光掩模的制造方法、显示装置用器件的制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113253564B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110095839.8，技术领域涉及：G03F1/26；该发明授权光掩模、光掩模的制造方法、显示装置用器件的制造方法是由柳敏相;裵囧洙;金钟煜;曹河铉设计研发完成，并于2021-01-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本光掩模、光掩模的制造方法、显示装置用器件的制造方法在说明书摘要公布了：本发明涉及光掩模、光掩模的制造方法、显示装置用器件的制造方法，提供具有通过利用曝光装置进行曝光而将微细的线条图案转印至被转印体上的优异的转印性能的光掩模。一种在透明基板上具备转印用图案的显示装置制造用的光掩模，其中，转印用图案包含线条图案。线条图案具有沿着外缘以宽度E形成的边缘区域、以及在边缘区域以外的部分形成的宽度C的中央区域。边缘区域具有使对于光掩模进行曝光的曝光光的相位偏移大致180度的相移作用，并且相对于曝光光具有透过率T1％其中0T110。中央区域由透光部或半透光部形成。
本发明授权光掩模、光掩模的制造方法、显示装置用器件的制造方法在权利要求书中公布了：1.一种光掩模，其是在透明基板上具备转印用图案的显示装置制造用的光掩模，其中， 所述转印用图案具有线条-间隙图案，该线条-间隙图案包含宽度Lμm的线条图案和曝光光透过的宽Sμm的间隙图案， 所述线条图案具有沿着外缘以宽度E形成的边缘区域、以及在所述边缘区域以外的部分形成的宽度C的中央区域， 所述边缘区域具有使对于所述光掩模进行曝光的所述曝光光的相位偏移180±20度的相移作用，并且相对于所述曝光光具有透过率T1％且0T110， 所述中央区域由透光部或半透光部形成。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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