高通科技公司C·科尔获国家专利权
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龙图腾网获悉高通科技公司申请的专利鲁棒的MEMS麦克风获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115428472B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202180017993.1,技术领域涉及:H04R1/04;该发明授权鲁棒的MEMS麦克风是由C·科尔;H·巴塞里;R·利特雷尔设计研发完成,并于2021-01-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本鲁棒的MEMS麦克风在说明书摘要公布了:一种鲁棒的MEMS换能器包括设置在其前腔内的动能分流器。在移动穿过前腔的空气的动能到达MEMS换能器的振膜之前,刚性动能分流器将该动能减弱或分流。动能分流器使MEMS换能器对于来自这种移动空气的损坏更鲁棒且更有抵抗力。
本发明授权鲁棒的MEMS麦克风在权利要求书中公布了:1.一种MEMS换能器,所述MEMS换能器包括: 半导体基板,所述半导体基板具有顶层以及与所述顶层相反的底表面; 前腔,所述前腔从所述底表面延伸到所述基板中并且在所述底表面处形成孔; 换能器元件,所述换能器元件具有能够移动的振膜,所述能够移动的振膜设置在所述基板的所述顶层处并且经由所述前腔暴露于所述孔; 刚性动能分流器,所述刚性动能分流器被配置成将朝着所述能够移动的振膜移动的空气的动能分流,所述刚性动能分流器设置在所述前腔内并且沿远离所述能够移动的振膜的方向延伸到所述前腔中,所述刚性动能分流器具有暴露于所述孔并且远离所述振膜的端部,使得与到所述振膜的距离相比,所暴露的远端更靠近所述底表面;以及 背板,所述背板与所述能够移动的振膜形成可变电容器,所述背板设置在所述前腔与所述能够移动的振膜之间,并且其中,所述刚性动能分流器从所述背板悬挂下来。
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