朗姆研究公司文森特·布克哈特获国家专利权
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龙图腾网获悉朗姆研究公司申请的专利用于衬底处理系统的衬底支撑件的加热器元件的电源隔离电路获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114556542B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080070853.6，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权用于衬底处理系统的衬底支撑件的加热器元件的电源隔离电路是由文森特·布克哈特;卡尔·弗雷德里克·利瑟设计研发完成，并于2020-10-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于衬底处理系统的衬底支撑件的加热器元件的电源隔离电路在说明书摘要公布了：一种衬底处理系统包含衬底支撑件和电源电路。所述衬底支撑件被配置成支撑衬底，其中所述衬底支撑件包含一或更多个加热元件。所述电源电路包含：直流‑交流转换器，其被配置成将第一直流电压转换为第一交流电压，其中所述直流‑交流转换器包含至少一个开关；以及隔离电路，其包含耦合电感器或变压器中的一者。所述耦合电感器或所述变压器中的所述一者被配置成将所述第一交流电压转换为第二交流电压，并且将所述一或更多个加热元件与接地隔离。所述电源电路被配置成基于所述第二交流电压而提供输出电压至所述一或更多个加热元件。
本发明授权用于衬底处理系统的衬底支撑件的加热器元件的电源隔离电路在权利要求书中公布了：1.一种衬底处理系统，其包含： 衬底支撑件，其被配置成支撑衬底，其中所述衬底支撑件包含一或更多个加热元件；以及 电源电路，其包含： 输入端， 直流-交流转换器，其被配置成将从所述输入端接收的第一直流电压转换为第一交流电压，其中所述直流-交流转换器包含至少一个开关， 隔离电路，其包含耦合电感器或变压器中的一者，其中所述耦合电感器或所述变压器中的所述一者被配置成将所述第一交流电压转换为第二交流电压，并且将所述一或更多个加热元件与接地隔离， 其中所述电源电路被配置成基于所述第二交流电压而提供输出电压至所述一或更多个加热元件， 所述耦合电感器或所述变压器中的所述一者的初级线圈直接连接至所述接地而不连接到参考接地， 所述耦合电感器或所述变压器中的所述一者的次级线圈连接到所述参考接地而不连接到所述接地， 所述参考接地处于与所述接地不同的电压电位，以及 所述至少一个开关连接在所述输入端和所述初级线圈之间并将所述第一交流电压供应到所述初级线圈。
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