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龙图腾网获悉昂图创新有限公司申请的专利基于分束器的椭圆偏振仪聚焦系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114467017B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080069846.4，技术领域涉及：G01N21/21；该发明授权基于分束器的椭圆偏振仪聚焦系统是由J·F·莱索因设计研发完成，并于2020-09-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于分束器的椭圆偏振仪聚焦系统在说明书摘要公布了：椭圆偏振仪包括聚焦系统，该聚焦系统使用测量斑的图像确定用于椭圆偏振仪的最佳焦点位置。聚焦信号通过在由偏振器分析信号之前分离椭圆偏振仪测量斑来产生，从而避免对具有调制强度的该斑进行成像。该聚焦信号在传感器阵列上成像，并且基于该斑在该传感器阵列上的该位置，可以确定该椭圆偏振仪的该焦点位置。单个图像可用于确定该椭圆偏振仪的该焦点位置，从而允许实时聚焦位置测量。

本发明授权基于分束器的椭圆偏振仪聚焦系统在权利要求书中公布了：1.一种椭圆偏振仪，包括： 源，所述源沿路径发射光； 第一偏振器，所述第一偏振器使所述光偏振以产生样品光束，所述样品光束与样品相互作用并且被反射以产生反射光束； 补偿器，所述补偿器安置于所述样品光束或所述反射光束的路径中，所述补偿器诱导所述光的偏振状态的相位延迟，其中，所述第一偏振器和所述补偿器中的至少一者围绕与所述光的传播方向平行的轴线旋转； 分束器，所述分束器定位于所述补偿器之后、在所述反射光束的路径中，所述分束器被定位成接收所述反射光束并将所述反射光束的第一部分引导到聚焦系统并将所述反射光束的第二部分引导到用于分析所述第二部分的偏振状态的第二偏振器，其中，所述反射光束的第一部分和所述反射光束的第二部分两者均包括所述反射光束的整个横截面； 所述聚焦系统被定位成从所述分束器接收所述反射光束的第一部分，所述聚焦系统包括： 透镜系统，所述透镜系统接收所述反射光束的第一部分，所述透镜系统将与所述椭圆偏振仪的最佳聚焦位置的任何偏差放大；和 第一检测器，所述第一检测器被定位成从所述透镜系统接收所述反射光束的第一部分，其中，所述第一检测器包括二维传感器，并且所述聚焦系统中的透镜系统在所述二维传感器上产生斑并且所述二维传感器产生所述斑的图像； 所述第二偏振器被定位成从所述分束器接收所述反射光束的第二部分； 第二检测器，所述第二检测器被定位成从所述第二偏振器接收所述反射光束；和 处理器，所述处理器接收所述图像并且被配置成在所述图像中获取所述斑在所述二维传感器上的位置，以确定与所述椭圆偏振仪的最佳聚焦位置的偏差。

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