东京毅力科创株式会社稻益寿史获国家专利权
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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利接合装置和接合方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112018016B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010437753.4，技术领域涉及：H01L21/68；该发明授权接合装置和接合方法是由稻益寿史;篠塚真一设计研发完成，并于2020-05-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本接合装置和接合方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种接合装置和接合方法，适当地进行接合中的基板之间的位置对准。该接合装置将第一基板与第二基板接合，具备：第一保持部，其保持所述第一基板；第二保持部，其保持所述第二基板；第一摄像部，其设置于所述第一保持部，对保持于所述第二保持部的所述第二基板进行摄像；第一光照射部，其设置于所述第一保持部，在所述第一摄像部进行摄像时向所述第二基板照射光；第二摄像部，其设置于所述第二保持部，对保持于所述第一保持部的所述第一基板进行摄像；以及第二光照射部，其设置于所述第二保持部，在所述第二摄像部进行摄像时向所述第一基板照射光，其中，所述第一光照射部和所述第二光照射部各自与照射白色光的第一光源连接。
本发明授权接合装置和接合方法在权利要求书中公布了：1.一种接合装置，将第一基板与第二基板接合，该接合装置具备： 第一保持部，其保持所述第一基板； 第二保持部，其保持所述第二基板； 第一摄像部，其设置于所述第一保持部，对保持于所述第二保持部的所述第二基板进行摄像； 第一光照射部，其设置于所述第一保持部，在所述第一摄像部进行摄像时向所述第二基板照射光； 第二摄像部，其设置于所述第二保持部，对保持于所述第一保持部的所述第一基板进行摄像；以及 第二光照射部，其设置于所述第二保持部，在所述第二摄像部进行摄像时向所述第一基板照射光， 其中，所述第一光照射部和所述第二光照射部各自与照射白色光的第一光源连接， 所述第一基板和所述第二基板上均形成有多个对准标记， 在利用所述第一摄像部对所述第二基板进行摄像且从所述第一光照射部向所述第二基板照射白色光时，所述第一光照射部仅照射白色光，在利用所述第二摄像部对所述第一基板进行摄像且从所述第二光照射部向所述第一基板照射白色光时，所述第二光照射部仅照射白色光。
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