南通咸昌新材料科技有限公司张锋获国家专利权
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龙图腾网获悉南通咸昌新材料科技有限公司申请的专利一种InGaSb三元合金多晶的双区合成装置及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120464855B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510970758.6,技术领域涉及:C22B4/08;该发明授权一种InGaSb三元合金多晶的双区合成装置及方法是由张锋;王怀利;谢月林设计研发完成,并于2025-07-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种InGaSb三元合金多晶的双区合成装置及方法在说明书摘要公布了:本发明涉及半导体材料制备技术领域,具体为一种InGaSb三元合金多晶的双区合成装置及方法,包括合成腔体、多段加热器、双区合成管、合成腔体旋转机构和合成腔体底座;本发明通过采用双区结构合成管进行InGaSb多晶合成,首先分别在不同温区合成GaSb和InSb,然后再将GaSb和InSb融合合成InGaSb。与直接采用In、Ga、Sb元素进行合成相比,本方法较可通过控制GaSb和InSb的比例来有效控制InGaSb中的元素配比。同时可有效避免在采用In、Ga、Sb元素直接合成中In在InGaSb中的偏析,提高了组分的均匀性,从而保证材料的一致性。
本发明授权一种InGaSb三元合金多晶的双区合成装置及方法在权利要求书中公布了:1.一种InGaSb三元合金多晶的双区合成装置,其特征在于:包括合成腔体(1)、多段加热器(2)、双区合成管(3)、合成腔体旋转机构(4)和合成腔体底座(5); 所述合成腔体(1)用于支撑固定多段加热器(2)和双区合成管(3)并可充惰性气体保护合成装置,所述合成腔体(1)璧设有水冷盘管用于腔体降温; 所述多段加热器(2)每段为独立控温加热的电阻丝加热器; 所述合成腔体底座(5)上安装有配合启闭机构(6),且双区合成管(3)上设有隔档机构(7),所述隔档机构(7)与配合启闭机构(6)相互配合,用于对双区合成管(3)进行调节; 所述双区合成管(3)包括双区合成管主体(31)和双区合成管封帽(32),所述双区合成管主体(31)包含双区合成管合成一区(33)、双区合成管缩颈区(34)和双区合成管合成二区(35),所述隔档机构(7)位于双区合成管缩颈区(34)处; 所述双区合成管封帽(32)设有两个,两个所述双区合成管封帽(32)分别与双区合成管合成一区(33)和双区合成管合成二区(35)开口处焊接; 所述隔档机构(7)包括定位杆(71)、第一旋转套筒(72)、第二旋转套筒(73)、闭合板(74)和反向件(75),所述定位杆(71)的一端与双区合成管缩颈区(34)内壁固定连接,所述第一旋转套筒(72)转动套接在定位杆(71)外侧,且第一旋转套筒(72)上设有多个旋转槽(721),所述第二旋转套筒(73)设有多个,多个所述第二旋转套筒(73)分别转动套接在多个旋转槽(721)处,所述闭合板(74)设有两个,两个所述闭合板(74)分别与第一旋转套筒(72)和多个第二旋转套筒(73)固定连接,所述第一旋转套筒(72)的一端延伸至双区合成管缩颈区(34)的外侧且与反向件(75)连接,且其中一个第二旋转套筒(73)的一端延伸至双区合成管缩颈区(34)且与反向件(75)连接; 所述配合启闭机构(6)包括连接套筒(61)、同步块(62)、支撑调节件(63)、环绕杆(64)和限位件(65),所述连接套筒(61)滑动贯穿合成腔体(1)的一侧,且连接套筒(61)靠近双区合成管缩颈区(34)的一端设有连接槽(611),所述同步块(62)位于连接槽(611)处,且同步块(62)与第一旋转套筒(72)的一端固定连接; 所述支撑调节件(63)件位于合成腔体(1)外侧,且支撑调节件(63)用于对连接套筒(61)的位置进行调节,所述环绕杆(64)的一端滑动连接在连接套筒(61)内部,且环绕杆(64)另一端与限位件(65)连接,所述限位件(65)与合成腔体底座(5)连接。
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