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龙图腾网获悉河北召子科技有限公司申请的专利一种集成电路芯片的智能化加工监测系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120356850B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510581145.3，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种集成电路芯片的智能化加工监测系统是由贾惠芹设计研发完成，并于2025-05-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种集成电路芯片的智能化加工监测系统在说明书摘要公布了：本发明涉及集成电路芯片加工监测技术领域，具体涉及一种集成电路芯片的智能化加工监测系统。该系统包括：获取目标区域内的集成电路芯片图像数据和由加工生产线上传感器采集得到的加工处理数据，计算每个子图像的缺陷特征指数，基于缺陷特征指数分割子图像中的集成电路芯片缺陷部位，并提取集成电路芯片缺陷部位特征，对缺陷部位特征进行识别分析，生成外观监测分析结果，对加工处理数据进行分析，生成非外观监测分析结果，基于外观监测分析结果和非外观监测分析结果对目标区域内的集成电路芯片进行标记，能够快速地识别出集成电路芯片的表面缺陷并及时地发现加工工艺参数的异常变化，提高加工监测准确性和加工监测效率。

本发明授权一种集成电路芯片的智能化加工监测系统在权利要求书中公布了：1.一种集成电路芯片的智能化加工监测系统，其特征在于，系统包括： 监测数据获取单元，用于获取目标区域内的集成电路芯片图像数据和由加工生产线上传感器采集得到的加工处理数据，并将集成电路芯片图像数据发送至外观分析单元，将加工处理数据发送至非外观分析单元； 外观分析单元，用于接收集成电路芯片图像数据，将集成电路芯片图像分为M个子图像，计算每个子图像的缺陷特征指数，基于缺陷特征指数分割子图像中的集成电路芯片缺陷部位，并提取集成电路芯片缺陷部位特征，对缺陷部位特征进行识别分析，生成外观监测分析结果，将外观监测分析结果发送至监测预警单元；其中，计算每个子图像的缺陷特征指数具体包括以下过程： 计算子图像与预设无缺陷子图像的对比度显著值： ； 其中，为子图像中超像素区域的个数，为每个超像素区域中的像素个数，为超像素区域和预设无缺陷子图像的超像素区域之间的欧氏距离，为超像素区域和预设无缺陷子图像超像素区域的质心距离，为每对超像素质心间距离的中值； 计算子图像颜色分布特征值： ； 其中，取和0的最大值，和分别是在RGB颜色空间上超像素区域中第j个像素点的R、B和G值； 计算每个子图像的缺陷特征指数： ； 其中，、、分别为权重系数，为预设对比度显著阈值，为预设颜色分布特征阈值，为子图像在高光谱空间中的缺陷系数； 其中，获取子图像在高光谱空间中的缺陷系数具体包括以下过程： 获取子图像在高光谱空间中的特征波长反射率图，并将预设波段添加到特征波长反射率图中，在预设波段中提取特征波长反射率图的三个特征向量、、，向量对应的波长分别、、，计算子图像在高光谱空间中的缺陷系数；其中，三个特征向量在轴投影方向反射率差值的比例是相等的； 基于缺陷特征指数分割子图像中的集成电路芯片缺陷部位，并提取集成电路芯片缺陷部位特征具体包括以下过程： 将子图像分割为若干部分，判断每个部分的是否超过预设阈值，若是，则将该部分作为集成电路芯片缺陷部位，并对待集成电路芯片缺陷部位进行特征提取，得到集成电路芯片缺陷部位特征： ； 其中，表示图像中的通道数量，表示第个像素点上第个通道的颜色值，表示像素点个数，表示第个通道的颜色均值； 非外观分析单元，用于接收加工处理数据，对加工处理数据进行分析，生成非外观监测分析结果，将非外观监测分析结果发送至监测预警单元； 监测预警单元，用于接收外观监测分析结果和非外观监测分析结果对目标区域内的集成电路芯片进行标记。

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