河源市艾佛光通科技有限公司李国强获国家专利权
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龙图腾网获悉河源市艾佛光通科技有限公司申请的专利一种体声波谐振器及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120074430B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510556268.1，技术领域涉及：H03H9/17；该发明授权一种体声波谐振器及其制备方法是由李国强;衣新燕;张伟军设计研发完成，并于2025-04-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种体声波谐振器及其制备方法在说明书摘要公布了：本申请涉及体声波谐振器技术领域，具体提供了一种体声波谐振器及其制备方法，该谐振器包括：由下至上依次连接的衬底、底电极、压电层和顶电极，衬底上设有声反射镜；压电层上设有第一凹槽，第一凹槽在俯视方向上的投影的边缘不超出声反射镜在俯视方向上的投影的边缘，顶电极上设有第二凹槽，第二凹槽在俯视方向上的投影的边缘不超出第一凹槽在俯视方向上的投影的边缘；该谐振器能够有效地解决由于空气间隙存在形貌缺陷而导致空气间隙无法完全发挥减少能量泄漏的作用，体声波谐振器的品质因素和并联谐振阻抗的提高效果受到限制以及由于顶电极的外接部分失去支撑而导致顶电极的外接部分的机械稳定性下降的问题。
本发明授权一种体声波谐振器及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种体声波谐振器，其特征在于，所述体声波谐振器包括： 由下至上依次连接的衬底、底电极、压电层和顶电极，所述衬底上设有声反射镜； 所述压电层上设有第一凹槽，所述第一凹槽在俯视方向上的投影的边缘不超出所述声反射镜在俯视方向上的投影的边缘，所述顶电极上设有第二凹槽，所述第二凹槽在俯视方向上的投影的边缘不超出所述第一凹槽在俯视方向上的投影的边缘; 所述压电层具有台阶组，所述台阶组位于所述第一凹槽内，所述台阶组包括至少一个台阶部，所述台阶部的高度小于所述第一凹槽的深度，在所述台阶部的数量为多个时，多个所述台阶部以所述压电层中心为中心内外分布且间隔设置; 所述顶电极具有至少一个外接部，所述台阶部设置在所述第一凹槽内靠近所述外接部的一侧。
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