滁州亿晶光电科技有限公司张飞获国家专利权
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龙图腾网获悉滁州亿晶光电科技有限公司申请的专利一种去除硅片磷硅玻璃的链式清洗设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119920730B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510065809.0，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种去除硅片磷硅玻璃的链式清洗设备是由张飞;徐明靖;孙铁囤设计研发完成，并于2025-01-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种去除硅片磷硅玻璃的链式清洗设备在说明书摘要公布了：本发明涉及清洁技术领域，公开了一种去除硅片磷硅玻璃的链式清洗设备，包括：清洗槽，所述清洗槽内侧设置有将其内部空间分隔的隔板；机架，固定于清洗槽上；齿轮组，转动安装于机架内侧以形成起伏结构，所述齿轮组上连接有输送链条；安装块，转动安装于输送链条一侧，且所述安装块下端具有对硅片夹持的夹紧组件；本发明通过设置有起伏设计的齿轮组、输送链条、安装块及夹紧组件，本装置可以自动将硅片分别放置到盛有不同清洗液的槽体，操作简便，且能够根据不同硅片的外径、厚度及清洗深度进行调整，提高对不同尺寸硅片的清洗效果，结构简单，在清洗后可自动进行干燥，降低另外干燥的不便。
本发明授权一种去除硅片磷硅玻璃的链式清洗设备在权利要求书中公布了：1.一种去除硅片磷硅玻璃的链式清洗设备，其特征在于，包括： 清洗槽1，所述清洗槽1内侧设置有将其内部空间分隔的隔板101； 机架2，固定于清洗槽1上； 齿轮组3，转动安装于机架2内侧以形成起伏结构，所述齿轮组3上连接有输送链条4； 安装块5，转动安装于输送链条4一侧，且所述安装块5下端具有对硅片夹持的夹紧组件6； 驱动电机8，设置于机架2一侧壁，且所述驱动电机8输出端设置有驱动齿轮组3转动的传动轴9； 热风组件，设置于机架2内侧一端以对清洗后的硅片进行干燥； 所述齿轮组3包括第一齿轮301、第二齿轮302及第三齿轮303，所述第一齿轮301与第二齿轮302沿机架2一长边上下交错设置，至少两个所述第三齿轮303对称设置于机架2内侧的两端，且所述第三齿轮303的外径大于第二齿轮302及第一齿轮301的外径； 所述第一齿轮301的外径小于所述第二齿轮302的外径，且其中一个所述第一齿轮301与传动轴9固定。
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