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龙图腾网获悉道格特半导体科技(江苏)有限公司申请的专利一种基于反作用力分析的探针卡仿真方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119647209B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510022484.8，技术领域涉及：G06F30/23；该发明授权一种基于反作用力分析的探针卡仿真方法及系统是由黎华盛;钟惺设计研发完成，并于2025-01-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于反作用力分析的探针卡仿真方法及系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于反作用力分析的探针卡仿真方法及系统，用于晶圆仿真测试领域，该探针卡仿真方法包括以下步骤：集成多物理场工况构建探针卡几何模型，将探针卡几何模型导入有限元仿真分析软件中；利用混合体素树模型对探针卡几何模型进行网格划分，并根据多物理场的分布需求调整网格密度，同时根据实际仿真需求利用预设的边界条件模板设置仿真的边界条件；基于调整后的网格密度与仿真的边界条件启动仿真计算过程；提供仿真计算过程中物理场分布和结构应力状态的可视化界面，并根据反作用力分布结果，对仿真过程中探针卡的性能进行迭代优化。本发明通过自动调整网格密度以适应物理场的变化，确保在关键区域获得更高的仿真精度。

本发明授权一种基于反作用力分析的探针卡仿真方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种基于反作用力分析的探针卡仿真方法，其特征在于，该探针卡仿真方法包括以下步骤： S1、集成多物理场工况构建探针卡几何模型，将探针卡几何模型导入有限元仿真分析软件中； S2、利用混合体素树模型对探针卡几何模型进行网格划分，并根据多物理场的分布需求调整网格密度，同时根据实际仿真需求利用预设的边界条件模板设置仿真的边界条件；基于调整后的网格密度与仿真的边界条件启动仿真计算过程； S3、提供仿真计算过程中物理场分布和结构应力状态的可视化界面，并根据反作用力分布结果，对仿真过程中探针卡的性能进行迭代优化； 其中，所述利用混合体素树模型对探针卡几何模型进行网格划分，并根据多物理场的分布需求调整网格密度，同时根据实际仿真需求利用预设的边界条件模板设置仿真的边界条件；基于调整后的网格密度与仿真的边界条件启动仿真计算过程包括以下步骤： S21、获取探针卡几何模型中各部分的材料属性和性能参数； S22、基于混合体素树模型，对加载的探针卡几何模型进行网格划分； S23、在有限元仿真分析软件中，根据探针卡的工作环境和实际使用条件，设置仿真的边界条件； S24、利用已建立的混合体素树模型和设置的边界条件，启动多物理场仿真，计算探针卡在设定加载条件下的物理响应和化学响应； S25、根据仿真计算结果，分析探针卡的性能，判断是否满足预定的性能标准和安全要求；并根据判断结果调整探针卡的几何结构、材料属性及性能参数； S26、若探针卡的几何结构、材料属性及性能参数不满足预设目标，则重复执行S21-S25的步骤，并根据预设目标调整网格划分、边界条件及物理加载条件，在每次迭代后，重新评估仿真过程中探针卡的性能；若探针卡的几何结构、材料属性及性能参数不满足预设目标，则输出探针卡的几何结构、材料属性及性能参数； 所述基于混合体素树模型，对加载的探针卡几何模型进行细致的网格划分包括以下步骤： S221、将探针卡的三维几何模型加载到有限元仿真分析软件中； S222、在有限元仿真分析软件中，利用混合体素树模型对探针卡的三维几何模型进行网格划分，并标注物理场变化超过预设范围值的区域，同时自动调整网格大小和分布； S223、完成网格划分后，对生成的网格质量进行检查，并确保网格均匀地覆盖了整个探针卡模型； S224、根据网格的质量检查结果，若网格符合要求，则导出网格数据；若网格不符合要求，则返回S222步骤，并进行网格的优化。

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