光驰科技(上海)有限公司陈韶华获国家专利权
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龙图腾网获悉光驰科技(上海)有限公司申请的专利一种装载装置及真空处理设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223304536U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422791947.0，技术领域涉及：C23C14/50；该实用新型一种装载装置及真空处理设备是由陈韶华;李展鹏;余龙设计研发完成，并于2024-11-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种装载装置及真空处理设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及真空处理技术领域，具体公开了一种装载装置及真空处理设备，该装载装置包括支撑架、装载组件、连动组件和传动机构；装载组件设置有若干个，若干个装载组件相互平行且沿第一方向倾斜间隔设置，任意相邻两个装载组件之间通过连动组件连动连接；传动机构包括传动组件和万向节组，驱动端头通过传动组件传动连接于万向节组；若干个装载组件中最外侧的其中一个连接于万向节组的输出端，另一个转动连接于支撑架。本实用新型在确保相邻待处理件之间间距的情况下，能够增设装载组件，以此提高装载量，因此在规格和体积有限的真空处理腔室条件下，提升了真空处理设备的装载量，满足了终端对于单台设备装载量的要求。
本实用新型一种装载装置及真空处理设备在权利要求书中公布了：1.一种装载装置，连接于驱动端头5，用于装载待处理件6，其特征在于，所述装载装置包括： 支撑架1； 装载组件2及连动组件3，所述装载组件2设置有若干个，若干个所述装载组件2相互平行且沿第一方向倾斜间隔设置，任意相邻两个所述装载组件2之间通过所述连动组件3连动连接；所述装载组件2用于装载所述待处理件6； 传动机构4，所述传动机构4包括传动组件41和万向节组42，所述驱动端头5通过所述传动组件41传动连接于所述万向节组42，用于驱动所述万向节组42旋转；若干个所述装载组件2中最外侧的其中一个连接于所述万向节组42的输出端，另一个转动连接于所述支撑架1；所述万向节组42能够带动若干个所述装载组件2沿同一倾斜方向旋转；所述传动组件41用于调整所述万向节组42相对于所述装载组件2的空间位置。
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