江苏晋誉达半导体股份有限公司丁桃宝获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏晋誉达半导体股份有限公司申请的专利一种曝光机分体式机架获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223308542U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422560650.3,技术领域涉及:G03F7/20;该实用新型一种曝光机分体式机架是由丁桃宝;黄鹏飞;刘毅;陈愿设计研发完成,并于2024-10-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种曝光机分体式机架在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种曝光机分体式机架,包括上料机架和曝光机架,曝光机架的一侧安装有第一支撑座和第二支撑座,第一支撑座和第二支撑座上分别设置有第一定位凹槽和第二定位凹槽,上料机架的一侧固定安装有第一固定支撑脚和第二固定支撑脚,第一固定支撑脚和第二固定支撑脚分别嵌入第一定位凹槽和第二定位凹槽内并相互定位配合,上料机架的另一侧设置安装有第一调节支撑脚和第二调节支撑脚,第一固定支撑脚、第二固定支撑脚、第一调节支撑脚和第二调节支撑脚共同支撑所述上料机架,曝光机架的底部安装有四个调节支撑脚,该分体式机架能够更好的调节上料机架和曝光机架之间的相对高度和间距,调节更加方便。
本实用新型一种曝光机分体式机架在权利要求书中公布了:1.一种曝光机分体式机架,其特征在于:包括用于支撑晶圆上料装置的上料机架和用于安装曝光头的曝光机架,所述曝光机架的一侧安装有第一支撑座和第二支撑座,所述第一支撑座和第二支撑座上分别设置有第一定位凹槽和第二定位凹槽,所述上料机架的一侧固定安装有第一固定支撑脚和第二固定支撑脚,所述第一固定支撑脚和第二固定支撑脚分别嵌入所述第一定位凹槽和第二定位凹槽内并相互定位配合,所述上料机架的另一侧设置安装有第一调节支撑脚和第二调节支撑脚,所述第一固定支撑脚、第二固定支撑脚、第一调节支撑脚和第二调节支撑脚共同支撑所述上料机架,所述曝光机架的底部安装有四个调节支撑脚。
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