深圳众为兴技术股份有限公司翁川获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳众为兴技术股份有限公司申请的专利一种用于晶圆搬运的两级升降旋转装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223304073U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422544804.X，技术领域涉及：B66F3/44；该实用新型一种用于晶圆搬运的两级升降旋转装置是由翁川;谷坚胜;周亚南;崔永强;罗欣设计研发完成，并于2024-10-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于晶圆搬运的两级升降旋转装置在说明书摘要公布了：本发明提出一种用于晶圆搬运的两级升降旋转装置，包括：基座，基座内包括Z1轴驱动单元、Z1轴传动单元以及Z1轴导向单元；Z1升降座套设于基座内,Z1升降座内设有Z2轴驱动单元、Z2轴传动单元以及Z2轴导向单元；旋转运动座为圆柱体中空结构，套设于Z1升降座内。本装置通过Z1升降座套设于基座内以及旋转运动座套设在Z1升降座内，实现两级升降模式，可以在有限高度空间下实现大行程升降，通过设置旋转运动座实现旋转运动；通过Z1轴直线导轨和Z2轴直线导轨的优化布置，Z1轴驱动单元、Z1轴传动单元以及Z1轴导向单元，Z2轴驱动单元、Z2轴传动单元以及Z2轴导向单元等组件部分零件一体化的方式，提高了两级升降装置整体结构的刚性和稳定性。
本实用新型一种用于晶圆搬运的两级升降旋转装置在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆搬运的两级升降旋转装置，其特征在于，所述装置包括： 基座100，所述基座内包括Z1轴驱动单元110、Z1轴传动单元120以及Z1轴导向单元130； Z1升降座200，所述Z1升降座200套设于基座100内,并在所述基座100上做直线型升降运动，所述Z1升降座200内设有Z2轴驱动单元210、Z2轴传动单元220以及Z2轴导向单元230； 旋转运动座300，所述旋转运动座300为圆柱体中空结构，套设于所述Z1升降座200内,在所述Z1升降座200上做升降旋转运动。
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