深圳众为兴技术股份有限公司谷坚胜获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉深圳众为兴技术股份有限公司申请的专利一种减轻晶圆外延设备颗粒粉尘的装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223304589U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422545940.0，技术领域涉及：C30B25/02；该实用新型一种减轻晶圆外延设备颗粒粉尘的装置是由谷坚胜;黄国辉;姚超智;李俊武设计研发完成，并于2024-10-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种减轻晶圆外延设备颗粒粉尘的装置在说明书摘要公布了：一种减轻晶圆外延设备颗粒粉尘的装置，包括：吸附装置，以保证颗粒粉尘不会外溢；大气机械手，用于抓取、放置基板、载板环以及载板盘的组合体以及搬运，吸附装置包括腔室，腔室内设有吸尘风管、吹吸清洁头以及下清洁头，吸附装置内还设有旋转机构。通过吹吸清洁头、下清洁头以及旋转机构三者的配合，可以将基板、载板环和载板盘以及它们的组合体上下表面的颗粒粉尘吸附清洁，还能防止载板环和载板盘的颗粒粉尘的积累量超过一定的阈值，造成不良率，大大提高了工厂的生产效率，以及降低生产成本；通过设置大气机械手，载板盘掉落的颗粒粉尘只会污染在防护套的上表面，不会造成载板盘颗粒粉尘的交叉污染。
本实用新型一种减轻晶圆外延设备颗粒粉尘的装置在权利要求书中公布了：1.一种减轻晶圆外延设备颗粒粉尘的装置，用于基板外延设备，其特征在于，所述装置包括： 吸附装置2，所述吸附装置2为密封腔体，以保证颗粒粉尘不会外溢； 大气机械手3，与所述吸附装置2相互配合，用于抓取、放置基板11、载板环12以及载板盘13的组合体以及搬运。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳众为兴技术股份有限公司，其通讯地址为：518000 广东省深圳市宝安区福海街道稔田社区新塘路93-1号整栋；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励