上海积塔半导体有限公司曹曙铖获国家专利权
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龙图腾网获悉上海积塔半导体有限公司申请的专利一种晶圆盒取放工具获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223308980U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422544227.4，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型一种晶圆盒取放工具是由曹曙铖;成敏设计研发完成，并于2024-10-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆盒取放工具在说明书摘要公布了：本申请提供一种晶圆盒取放工具，其配合使用的晶圆盒的正面设置有容纳槽，容纳槽内部包含高低依次设置的第一挂杆和第二挂杆。晶圆盒取放工具包括接触板、手柄、挂钩和锁定装置。接触板的一侧设置为工作面，另一侧设置为非工作面。手柄设置于接触板的非工作面一侧，且与非工作面固定连接。挂钩包括设置在接触板的工作面上的第一挂钩和第二挂钩，开口方向朝上。锁定装置包括设置于第一挂钩上方且开口朝下的锁定部，具有锁定部与第一挂钩分离的锁定状态，以及锁定部与第一挂钩拼合的解锁状态。本申请的技术方案能够与晶圆盒实现方便可靠的连接，降低操作人员取放晶圆盒的难度，对于保障晶圆生产过程中的安全性和效率具有积极的意义。
本实用新型一种晶圆盒取放工具在权利要求书中公布了：1.一种晶圆盒取放工具，所述晶圆盒的正面设置有容纳槽5，所述容纳槽5内部包含高低依次设置的第一挂杆601和第二挂杆602，其特征在于，所述晶圆盒取放工具包括： 接触板1，其一侧设置为工作面101，另一侧设置为非工作面102； 手柄2，设置于所述接触板1的所述非工作面102一侧，且与所述非工作面102固定连接； 挂钩3，包括设置在所述接触板1的所述工作面101上的第一挂钩301和第二挂钩302，开口方向朝上，且所述第一挂钩301高于所述第二挂钩302，所述第一挂钩301和所述第二挂钩302的间距与所述第一挂杆601和所述第二挂杆602的间距相一致； 锁定装置4，包括设置于所述第一挂钩301上方且开口朝下的锁定部411；所述锁定装置4包括锁定状态和解锁状态；在所述解锁状态中，所述锁定部411与所述第一挂钩301分离；在所述锁定状态中，所述锁定部411与所述第一挂钩301拼合。
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