江西兆驰半导体有限公司唐志鹏获国家专利权
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龙图腾网获悉江西兆驰半导体有限公司申请的专利一种清洁装置及刻蚀机获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223300517U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422527543.0,技术领域涉及:B08B1/32;该实用新型一种清洁装置及刻蚀机是由唐志鹏;徐吉红;段良飞;董国庆;文国昇;金从龙设计研发完成,并于2024-10-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种清洁装置及刻蚀机在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种清洁装置及刻蚀机,包括与刻蚀机连接的收集箱、沿收集箱朝刻蚀机刻蚀腔方向延伸出的连接管、与连接管远离收集箱一侧连接的清洁件,以及至少部分嵌于收集箱内的抽气泵,清洁件包括与连接管连通的驱动箱、设置在驱动箱远离连接管一侧的清洁头,以及沿驱动箱外表面向外延伸出的把手,通过驱动箱驱动清洁头轴向转动,通过清洁件配合抽气泵,可对刻蚀机的刻蚀腔内壁面的聚合物清洁的同时,可将刷落的聚合物进行收集,便于集中清理,且通过人工清理的方式,可有效避免清洁死角的产生。
本实用新型一种清洁装置及刻蚀机在权利要求书中公布了:1.一种清洁装置,其特征在于,包括与刻蚀机连接的收集箱、沿所述收集箱朝所述刻蚀机刻蚀腔方向延伸出的连接管、与所述连接管远离所述收集箱一侧连接的清洁件,以及至少部分嵌于所述收集箱内的抽气泵; 所述清洁件包括与所述连接管连通的驱动箱、设置在所述驱动箱远离所述连接管一侧的清洁头,以及沿所述驱动箱外表面向外延伸出的把手,通过所述驱动箱驱动所述清洁头轴向转动。
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