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龙图腾网获悉浙江大族富创得科技有限公司;上海大族富创得科技股份有限公司申请的专利一种SiC外延传送系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223303639U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422527262.5，技术领域涉及：B65G47/90；该实用新型一种SiC外延传送系统是由王俊森;李博;肖志成;刘思远设计研发完成，并于2024-10-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种SiC外延传送系统在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体技术领域，尤其是指一种SiC外延传送系统，包括用于抓取或放置晶圆、石墨环或石墨盘的机械手、用于实现石墨环与晶圆或石墨盘的合并或拆分的合并拆分模组、人工平台及反应室；所述人工平台用于承载合并的晶圆、石墨环和石墨盘。本实用新型能够在合并拆分模组出现故障时顺利实现晶圆加工，不耽搁晶圆生产，防止晶圆的运输停滞，便于继续生产加工，提高加工效率。

本实用新型一种SiC外延传送系统在权利要求书中公布了：1.一种SiC外延传送系统，其特征在于，包括用于抓取或放置晶圆01、石墨环02或石墨盘03的机械手1、用于实现石墨环02与晶圆01或石墨盘03的合并或拆分的合并拆分模组2、人工平台3及反应室4； 所述人工平台3用于承载合并的晶圆01、石墨环02和石墨盘03； 当晶圆01、石墨环02和石墨盘03合并时，机械手1抓取或放置石墨盘03实现晶圆01、石墨环02和石墨盘03的整体转移； 当石墨环02和石墨盘03合并时，机械手1抓取或放置石墨盘03实现石墨环02和石墨盘03的整体转移； 当需要将晶圆01、石墨环02和石墨盘03合并，所述机械手1抓取合并的石墨环02和石墨盘03放置于合并拆分模组2，所述合并拆分模组2将石墨环02和石墨盘03拆分，所述机械手1抓取石墨盘03使其脱离合并拆分模组2，使合并拆分模组2支撑石墨环02，所述机械手1抓取晶圆01放置于合并拆分模组2，合并拆分模组2将晶圆01和石墨环02合并，机械手1将前述脱离出的石墨盘03抓取至合并拆分模组2，合并拆分模组2将石墨盘03与石墨环02合并，实现晶圆01、石墨环02和石墨盘03的合并； 合并拆分模组2正常使用时，机械手1将合并的晶圆01、石墨环02和石墨盘03取出，并放入反应室4，经过反应室4的外延生长后，机械手1从反应室4取出合并的晶圆01、石墨环02和石墨盘03； 当合并拆分模组2出现故障时，人工将合并的晶圆01、石墨环02和石墨盘03放置于人工平台3，机械手1取人工平台3处合并的晶圆01、石墨环02和石墨盘03并将其放入反应室4，经过反应室4的外延生长后机械手1从反应室4取出合并的晶圆01、石墨环02和石墨盘03并将其放置于人工平台3，人工取走人工平台3处经外延反应的合并的晶圆01、石墨环02和石墨盘03，并在人工平台3处放入未经过外延反应的合并的晶圆01、石墨环02和石墨盘03。

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