浙江大族富创得科技有限公司;上海大族富创得科技股份有限公司王俊森获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江大族富创得科技有限公司;上海大族富创得科技股份有限公司申请的专利一种石墨盘纠偏机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223308971U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422527394.8，技术领域涉及：H01L21/68；该实用新型一种石墨盘纠偏机构是由王俊森;李博;肖志成;刘思远设计研发完成，并于2024-10-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种石墨盘纠偏机构在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体技术领域，尤其是指一种石墨盘纠偏机构，包括用于承载石墨盘的纠偏台、与纠偏台驱动连接的纠偏驱动机构、纠偏环形光源及纠偏采集器，所述纠偏驱动机构用于驱动纠偏台沿X轴和Y轴移动，并使得纠偏台自转，所述纠偏环形光源位于纠偏台与纠偏采集器之间，所述纠偏采集器与纠偏环形光源对应；本实用新型顺利调节石墨盘的位置和角度，使得石墨盘的贴合精度顺利达标，实现高精度、高效率石墨盘定位寻边，兼容性强，降低使用成本。
本实用新型一种石墨盘纠偏机构在权利要求书中公布了：1.一种石墨盘纠偏机构，其特征在于，包括用于承载石墨盘01的纠偏台11、与纠偏台11驱动连接的纠偏驱动机构12、纠偏环形光源13及纠偏采集器14，所述纠偏驱动机构12用于驱动纠偏台11沿X轴和Y轴移动，并使得纠偏台11自转，所述纠偏环形光源13位于纠偏台11与纠偏采集器14之间，所述纠偏采集器14与纠偏环形光源13对应； 当进行石墨盘01寻边时，石墨盘01放置于纠偏台11，所述纠偏环形光源13对石墨盘01进行补光，所述纠偏采集器14视觉拍照确定石墨盘01的位置和角度，所述纠偏驱动机构12根据纠偏采集器14所获取数据带动纠偏台11沿X轴和或Y轴移动，并使得纠偏台11自转，从而调节石墨盘01的位置和角度，实现石墨盘01的精准定位。
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