上海普达特设备科技有限公司;上海普达特半导体设备有限公司周波轩获国家专利权
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龙图腾网获悉上海普达特设备科技有限公司;上海普达特半导体设备有限公司申请的专利一种滚轮结构及系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223308965U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422510986.9，技术领域涉及：H01L21/677；该实用新型一种滚轮结构及系统是由周波轩;王志敏;帅瑞德设计研发完成，并于2024-10-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种滚轮结构及系统在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种滚轮结构及系统，滚轮结构包括：滚轮本体和传动部件；传动部件绕设在滚轮本体的外侧壁上，传动部件设置为S形螺纹传动部件或M个环形传动部件；其中M为大于1的自然数；S形螺纹传动部件的螺牙高度或各环形传动部件的环高设定为4mm～8mm；S形螺纹传动部件的螺距或各相邻环形传动部件之间的间距设定为20mm～60mm。这种滚轮设计有利于碱性溶液和单晶硅片反应时生成的气泡的快速脱除，可以减少气泡在单晶硅片表面的停留时间，加快碱性溶液交换的速度，从而减少滚轮印的产生。且S形螺纹传动部件上或各环形传动部件上的纹路设置为梯形锯齿纹路，可以减少滚轮结构与单晶硅片表面的接触面积，减少滚轮印的产生。
本实用新型一种滚轮结构及系统在权利要求书中公布了：1.一种滚轮结构，其特征在于，所述滚轮结构包括：滚轮本体和传动部件； 所述传动部件绕设在所述滚轮本体的外侧壁上；所述传动部件设置为S形螺纹传动部件或M个环形传动部件，其中M为大于1的自然数；所述S形螺纹传动部件的螺牙高度或各环形传动部件的环高设定为4mm～8mm。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海普达特设备科技有限公司;上海普达特半导体设备有限公司，其通讯地址为：200120 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区浦东南路855号世界广场23楼C、D座；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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