应用材料公司苏斯汉特·S·科希特获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利可与集成装载锁定机构一起使用的工厂接口机器人获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117321752B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202280034876.0，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权可与集成装载锁定机构一起使用的工厂接口机器人是由苏斯汉特·S·科希特;保罗·B·路透;大卫·菲利普斯;雅各布·纽曼;安德鲁·J·康斯坦特;迈克尔·R·赖斯;谢伊·阿萨夫;斯里尼瓦斯·波沙特拉哈利·戈帕拉克里希纳;德文德拉·钱纳帕·霍利安纳瓦尔;道格拉斯·B·鲍姆加滕;阿伦库马尔·拉马查德拉亚;纳拉亚南·拉马钱德兰设计研发完成，并于2022-10-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本可与集成装载锁定机构一起使用的工厂接口机器人在说明书摘要公布了：用于电子装置制造系统的工厂接口可包括设置在此工厂接口的内部空间内的装载锁定机构及设置在此工厂接口的此内部空间内的工厂接口机器人。此工厂接口机器人可被配置为在第一组基板载体与第一装载锁定机构之间传递基板。此工厂接口机器人可包括竖直塔、多个连杆及终端受动器。
本发明授权可与集成装载锁定机构一起使用的工厂接口机器人在权利要求书中公布了：1.一种用于电子装置制造系统的工厂接口，所述工厂接口包括： 第一装载锁定机构，设置在所述工厂接口的内部空间内；和 第一工厂接口机器人，设置在所述工厂接口的所述内部空间内，其中： 所述第一工厂接口机器人被配置为在第一组基板载体与所述第一装载锁定机构之间传递基板；并且 所述工厂接口机器人包括竖直塔、多个连杆及终端受动器，其中所述竖直塔包含竖直驱动机构，所述竖直驱动机构被配置为向所述多个连杆提供在z轴上的线性移动，并且所述多个连杆中的近端连杆耦接到所述竖直驱动机构，和 通过区域，设置在所述工厂接口的所述内部空间内，位于所述第一装载锁定机构上方或下方，其中所述第一工厂接口机器人被配置为经由所述通过区域将基板传递到第二工厂接口机器人。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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