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龙图腾网获悉南京屹立芯创半导体科技有限公司申请的专利压膜结构、压膜系统及压膜方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115483138B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211227113.6，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权压膜结构、压膜系统及压膜方法是由巫碧勤;林盛裕;张景南;彭俊昇;万航设计研发完成，并于2022-10-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本压膜结构、压膜系统及压膜方法在说明书摘要公布了：本申请涉及半导体技术领域，具体公开一种压膜结构、压膜系统及压膜方法。结构包括壳体、载台、挠性件、气体管路及控制器。壳体内部具有第一腔室和第二腔室；载台设置于第一腔室内；挠性件连接于第二腔室，并与第二腔室合围形成一密闭空间，挠性件适于受到密闭空间内的压力而朝向载台膨胀；气体管路连通密闭空间；控制器用于在一次压膜过程中对密闭空间内的压力进行至少两次循环控制，单次循环控制包括控制气体经气体管路对密闭空间加压，保持恒定压力达到预设时长后再降压。上述多段加压压膜的方式可对待压合膜与基材进行多次压合，可有效提高压合效果，尤其对高深宽比孔洞具有良好的填覆效果，进而提高了产品性能和可靠性。

本发明授权压膜结构、压膜系统及压膜方法在权利要求书中公布了：1.一种压膜系统，其特征在于，包括压膜结构、待压合膜以及基材；所述基材为高深宽比孔洞结构，所述压膜结构包括： 壳体，内部具有第一腔室和第二腔室，所述待压合膜铺设于所述第一腔室面向所述第二腔室的一侧表面； 载台，设置于所述第一腔室内，所述基材设置于所述载台上；所述载台连接有传动机构，传动机构能够带动载台上升或下降，以调整载台上基材的位置； 挠性件，连接于所述第二腔室，并与所述第二腔室合围形成一密闭空间，所述挠性件适于受到所述密闭空间内的压力而朝向所述载台膨胀，以将所述待压合膜挤压至所述基材上； 气体管路，连通所述密闭空间；气体管路包括进排气管路和抽真空管路，进排气管路包括进气端、排气阀、第一开关阀，第一开关阀经管路连通密闭空间，排气阀包括第一端、第二端和第三端，第一端连接进气端，第二端连接第一开关阀，第三端为排气端，当气体由进气端进入第一端时，气体由第一端经排气阀内部进入第二端；当密闭空间内的气体经第一开关阀进入第二端时，气体由第二端经排气阀内部进入第三端以排出，抽真空管路包括抽气端、第二开关阀以及第三开关阀，抽气端经第二开关阀连通密闭空间，同时经第三开关阀连通第一腔室； 控制器，电性连接所述气体管路，用于在一次压膜过程中对所述密闭空间内的压力进行至少两次循环控制，单次所述循环控制包括控制气体经气体管路对密闭空间加压，保持恒定压力达到预设时长后再降压。

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