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龙图腾网获悉南京工业大学申请的专利一种基于灰度转化大尺度等离子体膜沉积均匀性评价方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115526899B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211202202.5，技术领域涉及：G06T7/00；该发明授权一种基于灰度转化大尺度等离子体膜沉积均匀性评价方法是由方志;储金成;李方松;祝曦设计研发完成，并于2022-09-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于灰度转化大尺度等离子体膜沉积均匀性评价方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于灰度转化大尺度等离子体膜沉积均匀性评价方法，包括对拍摄图片进行灰度处理，再经过软件得到灰度二维数据矩阵，从0~255灰度依次划分，生成多个灰度区间；基于灰度二维数据矩阵与灰度区间进行包括占比率、连续性参数以及规则性参数进行计算从而获得对该薄膜沉淀效果的评价；占比率即是指定灰度区间面积在样片总灰度区间面积上的占比，连续性是对样片图进行分割，分为多个横轴与纵轴。每个横轴或每个纵轴中符合设定灰度区间占比达到80%及以上认为此列或行为连续的；规则性是要判断符合灰度域所成图像的边缘位置方差是否超过标准，来评价边缘位置反应的均匀性。本发明能够实现对薄膜沉淀效果的快速与定量评价。

本发明授权一种基于灰度转化大尺度等离子体膜沉积均匀性评价方法在权利要求书中公布了：1.一种基于灰度转化大尺度等离子体膜沉积均匀性评价方法，其特征在于：包括以下步骤： 步骤一：对等离子体处理后的材料表面拍摄图片，将图片导入计算机后基于Matlab算法进行灰度处理，得到材料表面薄膜沉积结果的灰度二维数据矩阵；所述灰度二维数据矩阵中的每个元素为其对应区域的灰度值； 步骤二：对0-255的灰度的范围进行划分，划分为多个灰度区间； 步骤三：基于步骤一的薄膜灰度转化后的灰度二维数据矩阵与步骤二生成的多个灰度区间，设定评价薄膜沉积效果与均匀性的多个定量参数；所述定量参数包括占比率、连续性参数以及规则性参数；所述占比率为预设的灰度区间的面积在待评价的样片总面积上的占比；所述连续性为通过计算待评价的样片的每个横轴或每个纵轴中符合预设的灰度区间占比是否达到80％及以上，从而实现判断此列或此行是否连续；所述规则性参数为判断符合预设的灰度区间所成图像的边缘位置方差是否超过预设的标准，从而实现评价生成薄膜的边缘位置反应的均匀性； 步骤四：计算出待评价的样片的定量参数，并根据计算出的定量参数值对薄膜沉积效果与均匀性进行评估。

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