细美事有限公司杨镇佑获国家专利权
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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利捕集装置和包括其的基板处理装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116061574B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211174956.4,技术领域涉及:B41J3/407;该发明授权捕集装置和包括其的基板处理装置是由杨镇佑设计研发完成,并于2022-09-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本捕集装置和包括其的基板处理装置在说明书摘要公布了:提供了一种能够稳定地控制弯液面位置的基板处理装置。该基板处理装置包括:头单元,用于排放液态化学品;贮存器,用于贮存液态化学品,并向头单元供应液态化学品;压力调节单元,用于调节贮存器内部的压力;以及捕集单元,布置在贮存器和压力调节单元之间,并用于捕集从贮存器中产生的雾气。
本发明授权捕集装置和包括其的基板处理装置在权利要求书中公布了:1.一种基板处理装置,包括: 头单元,用于排放液态化学品; 贮存器,用于贮存所述液态化学品,并向所述头单元供应所述液态化学品; 压力调节单元,用于调节所述贮存器内部的压力;以及 捕集单元,布置在所述贮存器和所述压力调节单元之间,并捕集从所述贮存器中产生的雾气, 所述捕集单元包括: 主体; 第一管线,设置在所述主体内,与所述贮存器连接,并沿第一方向延伸; 第二管线,设置在所述主体内,与所述压力调节单元连接,并沿第二方向延伸; 第三管线,设置成从所述主体的上表面贯穿所述第一管线和所述第二管线; 捕集层,设置在所述第一管线的内壁或所述第二管线的内壁上,并用于捕集所述雾气;以及 盖,设置于所述主体的上表面,并用于打开或封闭所述第三管线的一侧。
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