上海精测半导体技术有限公司刘世元获国家专利权
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龙图腾网获悉上海精测半导体技术有限公司申请的专利一种计算相位成像方法及系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115436404B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210933666.7,技术领域涉及:G01N23/20;该发明授权一种计算相位成像方法及系统是由刘世元;谷洪刚;陈创创;李仲禹设计研发完成,并于2022-08-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种计算相位成像方法及系统在说明书摘要公布了:本发明提供一种计算相位成像方法及系统,采集照明光束入射样品后的包含噪声的远场衍射光强,采用相干衍射成像方法对样品和照明光束复振幅信息进行迭代重构,对迭代过程施加动态激活函数,用于抑制噪声对计算收敛的扰动,具备跳出局部最优陷阱能力,最终获得全局最优解。本发明解决了现有相位计算成像方法在噪声扰动下成像分辨率损失严重、算法不收敛等技术问题。
本发明授权一种计算相位成像方法及系统在权利要求书中公布了:1.一种计算相位成像方法,其特征在于,包括: 步骤1,基于照明光束及所述照明光束入射到样品的当前待测位置,获取所述样品的近场出射波分布和远场衍射光强分布; 步骤2,基于所述远场衍射光强分布,对所述近场出射波分布进行迭代求解,获取每一次迭代更新后当前待测位置的样品函数和照明函数; 步骤3,基于所述每一次迭代更新后当前待测位置的样品函数和照明函数,计算每一次迭代更新后的出射波增量梯度残差,当小于设定阈值时,执行步骤4;否则,执行步骤2; 步骤4,基于动态正则函数对步骤2中获取的迭代更新后当前待测位置的样品函数和照明函数进行优化,基于优化后的样品函数和照明函数,重复执行步骤2至步骤4,直至所述出射波增量梯度残差和迭代更新后的远场衍射光强分布与步骤1中所述远场衍射光强分布之间的均方差MSE均小于设定阈值,迭代终止,求得当前待测位置的样品函数和照明函数; 其中,所述步骤4中,基于动态正则函数对步骤2中获取的迭代更新后当前待测位置的样品函数和照明函数进行优化,包括: 根据获取的迭代更新后当前待测位置的样品函数和照明函数、迭代更新后的近场出射波分布和更新前的近场出射波分布,基于所述动态正则函数,对所述迭代更新后当前待测位置的样品函数和照明函数进行优化: 其中: 其中,和为迭代更新前的样品函数和照明函数,和分别为优化后的当前待测位置的样品函数和照明函数,是指数滑动平均系数,ξ和η是函数的更新步长,是激活函数,n为当前迭代次数,和分别是和的更新权重因子,取值范围为0,1的区间常数,是重塑函数,是生成随机数矩阵函数。
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