细美事有限公司赵天洙获国家专利权
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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利基板处理装置的预热方法及用于该方法的计算机程序获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115593098B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210739874.3,技术领域涉及:B41J2/01;该发明授权基板处理装置的预热方法及用于该方法的计算机程序是由赵天洙;高宇永设计研发完成,并于2022-06-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置的预热方法及用于该方法的计算机程序在说明书摘要公布了:本发明提供了能够缩短预热时间并且能够同时执行维护操作的基板处理装置的预热方法及用于该方法的计算机程序。所述基板处理装置的预热方法包括:设定与构成基板处理装置的预热对象的预热相关的参数;以及基于参数对预热对象进行预热的步骤,其中,预热对象的移动范围限于可移动范围内。
本发明授权基板处理装置的预热方法及用于该方法的计算机程序在权利要求书中公布了:1.一种基板处理装置的预热方法,包括: 设定与构成基板处理装置的预热对象的预热相关的参数的步骤;以及 基于所述参数来预热所述预热对象的步骤,以及 在与所述预热的步骤同时对所述基板处理装置执行维护以校正基板处理液的喷出位置的步骤; 其中,所述预热对象的移动范围限于可移动范围内, 所述执行维护的步骤包括:测量所述基板处理液是否喷出和所述基板处理液的喷出位置,并且基于测量结果来校正所述基板处理液的喷出位置。
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