芜湖通潮精密机械股份有限公司赵浩获国家专利权
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龙图腾网获悉芜湖通潮精密机械股份有限公司申请的专利一种干刻机台下电极及其制造工艺方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114743857B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210548211.3，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权一种干刻机台下电极及其制造工艺方法是由赵浩;何新玉;刘其贵设计研发完成，并于2022-05-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种干刻机台下电极及其制造工艺方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种干刻机台下电极，包括下电极基体、钛棒，以及设置在下电极基体与钛棒之间的陶瓷棒；钛棒的端部与钨层接触；在钛棒与介质层接触的一端，电极基体与陶瓷棒相接触的端部均设置倒角。本发明还公开了该下电极的制造工艺方法。采用上述技术方案，能够有效避免直流电极柱镶嵌时形成间隙等缺陷，保证后续绝缘层良好结合，耐击穿电压＞6000V以上，可有效满足高世代和高制程面板刻蚀设备的需求。
本发明授权一种干刻机台下电极及其制造工艺方法在权利要求书中公布了：1.一种干刻机台下电极，包括下电极基体4、钛棒1，以及设置在下电极基体4与钛棒1之间的陶瓷棒2；所述的钛棒1的端部与钨层9接触；在所述的钛棒1与钨层9接触的一端，所述的电极基体4与陶瓷棒2相接触的端部均设置倒角； 所述的倒角为R0.5～R1.5；在所述的倒角内，设置致密Al2O3涂层6； 在所述的电极基体4内孔与陶瓷棒2之间的间隙5中，设置真空密封胶7； 所述的钛棒1与钨层9接触的相反一端，所述的钛棒1与塑料端盖3通过环氧树脂镶嵌胶方式进行装配。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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