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当前位置 : 首页 > 专利喜报 > 中国石油化工股份有限公司;中石化(大连)石油化工研究院有限公司王博获国家专利权

中国石油化工股份有限公司;中石化(大连)石油化工研究院有限公司王博获国家专利权

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龙图腾网获悉中国石油化工股份有限公司;中石化(大连)石油化工研究院有限公司申请的专利一种CVD金刚石膜及其制备方法和应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116837345B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210290352.X,技术领域涉及:C23C16/27;该发明授权一种CVD金刚石膜及其制备方法和应用是由王博;张长安;赵利民;袁俊;宋永一设计研发完成,并于2022-03-23向国家知识产权局提交的专利申请。

一种CVD金刚石膜及其制备方法和应用在说明书摘要公布了:本发明公开了一种CVD金刚石膜及其制备方法和应用。该CVD金刚石膜包括依次交替排列的刚性生长层和柔性增韧层;所述刚性生长层为SP3杂化金刚石相;所述柔性增韧层为SP3杂化金刚石相和SP2杂化石墨相的混合相;所述刚性生长层用来保证CVD金刚石膜的硬度,所述柔性增韧层用来保证CVD金刚石膜的柔韧性。本发明提供的CVD金刚石膜可以在不损失金刚石硬度的前提下有效提高其韧性,能够同时兼顾CVD金刚石膜硬度与韧性,扩展了产品的应用领域及应用条件,提高了使用寿命。

本发明授权一种CVD金刚石膜及其制备方法和应用在权利要求书中公布了:1.一种CVD金刚石膜的制备方法,所述CVD金刚石膜包括依次交替排列的刚性生长层和柔性增韧层;所述刚性生长层为SP3杂化金刚石相;所述柔性增韧层为SP3杂化金刚石相和SP2杂化石墨相的混合相;所述制备方法包括: (1)采用第一生长工艺在基体上生长第一相,所述第一生长工艺为将第一气相流和第二气相流分别通入CVD金刚石生长炉,设置CVD金刚石生长炉参数为第一生长工艺参数,并运行第一生长时长; (2)采用第二处理工艺对步骤(1)所得物料进行处理,所述第二处理工艺为以第一生长工艺中的第一气相流的流量为基准,降低第一生长工艺中的第一气相流的流量,调整CVD金刚石生长炉参数为第二处理工艺参数,并运行第二处理时长; (3)循环操作步骤(1)和步骤(2),循环次数为n,得到刚性生长层; (4)采用第三生长工艺,在刚性生长层上生长柔性增韧层;第三生长工艺为以第一生长工艺中的第一气相流的流量为基准,增加第一生长工艺中的第一气相流的流量,调整CVD金刚石生长炉参数为第三生长工艺参数,并运行第三生长时长; (5)循环操作步骤(1)-步骤(4),循环次数为m,得到所述的CVD金刚石膜; 步骤(1)中所述第一生长工艺参数为:生长炉压力为2000~5000Pa,灯丝电流强度为630~690A,所述灯丝温度为2200~2700℃,衬底温度为750~1050℃,灯丝与衬底之间距离为4~8mm; 步骤(2)中所述第二处理工艺参数为:生长炉压力为2000~5000Pa,灯丝电流强度为630~690A,所述灯丝温度为2200~2700℃,衬底温度为750~1050℃,灯丝与衬底之间距离为4~8mm; 步骤(4)中所述第三生长工艺参数为:生长炉压力为1000~3000Pa,灯丝电流强度为580~650A,所述灯丝温度为2000~2400℃,衬底温度为700~1050℃,灯丝与衬底之间距离为4~8mm。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人中国石油化工股份有限公司;中石化(大连)石油化工研究院有限公司,其通讯地址为:100020 北京市朝阳区朝阳门北大街22号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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