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龙图腾网获悉显示器生产服务株式会社申请的专利处理液供给装置和包括该处理液供给装置的基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115020273B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210129163.4，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权处理液供给装置和包括该处理液供给装置的基板处理装置是由朴庸硕;姜辰求设计研发完成，并于2022-02-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本处理液供给装置和包括该处理液供给装置的基板处理装置在说明书摘要公布了：本发明提供处理液供给装置和包括该处理液供给装置的基板处理装置，与供给装置的工作无关地使配管内的处理液不会残留或滞留，从而可以防止细菌污染处理液并提高处理液的回收率，并提高所处理的基板的质量。本发明包括：用于喷射处理液的处理液喷射部；用于对储存在处理液储存槽中的处理液进行加压并将其提供给处理液喷射部的处理液供给部；将处理液供给部和处理液喷射部连接的配管模块，配管模块包括：与处理液供给部连接的主管部；从主管部分支的多个分支管部；从分支管部分支并与处理液喷射部连接的多个排出管部，分支管部包括第一配管、第二配管、第三配管，并且不形成与竖直方向正交的水平区间。

本发明授权处理液供给装置和包括该处理液供给装置的基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种处理液供给装置，其特征在于，包括： 用于喷射处理液的处理液喷射部； 用于对储存在处理液储存部中的处理液加压并将其供给到所述处理液喷射部的处理液供给部；以及 将所述处理液供给部和所述处理液喷射部连接的配管模块， 所述配管模块包括：与所述处理液供给部连接的主管部；从所述主管部分支的多个分支管部；从所述分支管部分支并与所述处理液喷射部连接的多个排出管部；以及连接所述主管部和所述分支管部，或连接所述分支管部和所述排出管部的连接部件， 所述主管部从连接到所述处理液供给部的一端朝向连接到所述分支管部的另一端，整个区间朝上部方向倾斜配置，以避免形成与铅垂方向正交的水平区间， 连接所述处理液储存部和所述处理液供给部的配管形成为从连接到所述处理液储存部的一端朝向连接到所述处理液供给部的另一端朝上部方向倾斜， 所述分支管部包括：沿铅垂方向延长的第一配管；相对于铅垂方向倾斜地延长的第二配管；以及弯曲形成以将所述第一配管和所述第二配管连接的第三配管， 所述第一配管、所述第二配管和所述第三配管不形成与铅垂方向正交的水平区间，并且通过熔合结合为一体，具有与所述排出管部的内径相同的内径的分支口， 所述连接部件包括第一连接部、第二连接部、以及结合部件，以抑制所述分支口与所述排出管部之间的间隙形成， 所述第一连接部具有贯通孔，所述贯通孔贯通所述分支管部，以包围形成有所述分支口的所述分支管部的一部分， 所述第二连接部从所述第一连接部突出形成，并且具有与所述贯通孔连通并由所述排出管部的端部插入的插入孔、和将插入到所述插入孔中的所述排出管部的端部的前端表面紧贴支撑的支撑台， 所述第一连接部具有以所述第二连接部为基准切开相反侧一部分区域并隔开配置的第一端部和第二端部， 所述结合部件将所述第一端部和所述第二端部连接，使所述第一端部和所述第二端部接近，并将所述第一连接部朝所述分支管部的中心方向进行加压。

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