深圳市拉普拉斯能源技术有限公司林佳继获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市拉普拉斯能源技术有限公司申请的专利一种具有高均匀性的硼扩散方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114664643B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210101940.4，技术领域涉及：H01L21/223；该发明授权一种具有高均匀性的硼扩散方法是由林佳继;毛文龙;祁文杰;范伟;卢佳;梁笑设计研发完成，并于2022-01-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种具有高均匀性的硼扩散方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种具有高均匀性的硼扩散方法，通过不同压力与温度条件下的沉积，调整BC13在整管内的沉积分布，从而实现更好的均匀性。本发明的硼扩散方法，使得炉口炉尾区域硅片方阻较为均匀，使得炉管整体方阻均匀性得到提升。本发明的方法能够适用于大管径及大长度炉管，使整个炉管中硅片片内方阻与片间方阻均匀性提高。
本发明授权一种具有高均匀性的硼扩散方法在权利要求书中公布了：1.一种具有高均匀性的硼扩散方法，其特征是，包括以下步骤： 1将硅片装入石英舟中，将石英舟推入扩散炉石英管中； 2抽真空至压力为20～500mBar； 3升温至750～950℃，通入50～500sccm的BC13气体和100～5000sccm的O2气体，保持2～20min，进行第一次沉积； 4使用氮气或者氧气进行压力调整，回压至下步通源需要的工艺压力；继续通入50～500sccm的BC13气体、100～5000sccm的O2气体，保持2～20min，进行第二次沉积； 5升温至900～1050℃，通入氮气，进行推进，保持0～30min； 6升温至950～1100℃，通入氧气，保持20～120min，进行氧化; 7温度降至700～850℃时，通入氮气，回压，将石英舟从扩散炉石英管中取出； 8将硅片从石英舟上取下。
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