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龙图腾网获悉中国电子科技集团公司第十三研究所申请的专利晶圆快速预对准方法、装置、电子设备及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114549599B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210038925.X，技术领域涉及：G06T7/33；该发明授权晶圆快速预对准方法、装置、电子设备及存储介质是由文黎波;王秀海;赵英伟;吴爱华;翟玉卫;郝晓亮;马培圣;曹健;张文雅设计研发完成，并于2022-01-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆快速预对准方法、装置、电子设备及存储介质在说明书摘要公布了：本发明提供一种晶圆快速预对准方法、装置、电子设备及存储介质。该方法包括：对目标晶圆的灰度图像进行边缘检测，获得目标晶圆的轮廓二值图像；降低轮廓二值图像的分辨率，获得对应的低分辨率图像；对低分辨率图像中的轮廓进行直线检测，获得低分辨率图像中对应的平边端点粗坐标；基于平边端点粗坐标在轮廓二值图像中对应的预设邻域图像进行直线检测，获得轮廓二值图像中对应的平边端点精坐标；根据平边端点精坐标对目标晶圆的轮廓进行圆拟合，获得轮廓对应的圆心坐标和平边旋转角，以基于圆心坐标和平边旋转角对目标晶圆进行对准。本发明能够有效提高直线检测获得平边端点坐标的速度，进而缩短晶圆预对准时间，提高晶圆预对准的实时性和效率。

本发明授权晶圆快速预对准方法、装置、电子设备及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种晶圆快速预对准方法，其特征在于，包括： 对目标晶圆的灰度图像进行边缘检测，获得所述目标晶圆的轮廓二值图像； 降低所述轮廓二值图像的分辨率，获得所述目标晶圆的轮廓对应的低分辨率图像； 对所述低分辨率图像中的所述轮廓进行直线检测，获得所述低分辨率图像中的轮廓的缺口对应的平边端点粗坐标； 基于所述平边端点粗坐标在所述轮廓二值图像中对应的预设邻域图像进行直线检测，获得所述轮廓二值图像中的轮廓的缺口对应的平边端点精坐标； 根据所述平边端点精坐标对所述轮廓进行圆拟合，获得所述轮廓对应的圆心坐标和平边旋转角，以便基于所述圆心坐标和所述平边旋转角对所述目标晶圆进行对准； 所述降低所述轮廓二值图像的分辨率，获得所述目标晶圆的轮廓对应的低分辨率图像，包括： 将所述轮廓二值图像中的多个像素合并为一个像素块，并将合并后的轮廓二值图像确定为所述目标晶圆的轮廓对应的低分辨率图像； 所述基于所述平边端点粗坐标在所述轮廓二值图像中对应的预设邻域图像进行直线检测，获得所述轮廓二值图像中的轮廓的缺口对应的平边端点精坐标，包括： 将所述平边端点粗坐标对应到所述轮廓二值图像中，获得所述平边端点粗坐标在所述轮廓二值图像中的对应端点坐标； 基于所述轮廓二值图像中所述对应端点坐标对应的像素的预设邻域，获得预设邻域像素图像； 对所述预设邻域像素图像进行直线检测，获得所述轮廓二值图像中的轮廓的缺口对应的平边端点精坐标。

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