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龙图腾网获悉台湾积体电路制造股份有限公司申请的专利存放器系统及控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115494747B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210037472.9，技术领域涉及：G05B19/042；该发明授权存放器系统及控制方法是由李冠群;张庆荣;董启峰;沈香吟设计研发完成，并于2022-01-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本存放器系统及控制方法在说明书摘要公布了：公开一种EUV存放器和一种EUV盒器件。EUV存放器包括AI驱动的动态控制电路、AI控制的安全联锁和独立的回风控制器件。EUV存放器包括与一个或多个阀协同操作的质量流量控制MFC。EUV存放器还包括碳氢化合物检测组合件、氧气检测组合件、压力检测组合件和温度检测组合件等，以保持EUV存放器内所需的条件。EUV存放器还包括例如AMHS、OHT、MR、AGV、RGV等自动化运输器件，以为操作员提供安全的EUV掩模储存环境。

本发明授权存放器系统及控制方法在权利要求书中公布了：1.一种存放器系统，包括： 储存盒，配置为储存一个或多个掩模，所述储存盒包含在存放器中； 控制器，可操作地耦合到所述存放器系统，所述控制器被配置为控制进入所述储存盒的气流供应、所述存放器中的碳氢化合物浓度、所述储存盒中的氧气浓度、所述储存盒内的湿度、所述储存盒内的压力或所述储存盒中的温度中的至少一个； 人工智能训练电路，可操作地连接到所述控制器，所述人工智能训练电路被配置为识别进入所述储存盒的所述气流供应、所述存放器中的所述碳氢化合物浓度、所述储存盒中的所述氧气浓度、所述储存盒内的所述湿度，所述储存盒内的所述压力或所述储存盒中的所述温度中的至少一个的多个数据模式； 自动化机械，配置为将所述储存盒移入和移出所述存放器；以及 安全联锁组合件，可操作地耦合到所述控制器，其中所述安全联锁组合件为进入所述存放器系统的独立回风边界的入口系统且所述安全联锁组合件包括： 操作员设备扫描组合件，配置为确定进入所述存放器系统的操作员的设备是否正常运行，其中所述设备为操作员面罩和用于所述操作员面罩的氧气输送管道或导管；以及 操作员标识符扫描组合件，配置为扫描进入所述存放器系统的操作员的标识。

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