京东方科技集团股份有限公司;重庆京东方显示技术有限公司李若尧获国家专利权
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龙图腾网获悉京东方科技集团股份有限公司;重庆京东方显示技术有限公司申请的专利激光退火窗装置及激光退火设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114334739B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111662295.5,技术领域涉及:H01L21/67;该发明授权激光退火窗装置及激光退火设备是由李若尧;路兆里;全祥皓;刘松林;熊月;易靖洋;刘晓锋;陈科全;张苁;江玲;王云飞;罗平;季子云;程正东设计研发完成,并于2021-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本激光退火窗装置及激光退火设备在说明书摘要公布了:本公开一些实施例提供了一种激光退火窗装置及激光退火设备,涉及显示技术领域,用于改善激光退火工艺的工艺质量,以及提高激光退火窗装置的使用寿命。所述激光退火窗装置包括壳体、光学镜组和至少一个驱动结构。壳体围成容纳腔。光学镜头设置于容纳腔内;光学镜头沿第二方向延伸,光学镜头沿第三方向的尺寸小于容纳腔沿第三方向的尺寸。第一方向垂直于参考面;第二方向平行于参考面;第三方向平行于参考面,且垂直于第二方向。沿第三方向,驱动结构设置于光学镜头的一侧,被配置为驱动光学镜头在容纳腔内沿第三方向运动。本公开一些实施例提供的激光退火窗装置及激光退火设备用于制备显示面板。
本发明授权激光退火窗装置及激光退火设备在权利要求书中公布了:1.一种激光退火窗装置,其特征在于,包括: 壳体,所述壳体围成容纳腔;所述壳体设有第一透光孔,沿第一方向,所述第一透光孔位于所述容纳腔的一侧,且所述第一透光孔与所述容纳腔相通,所述第一透光孔沿第二方向延伸;所述第一方向垂直于参考面,所述第二方向平行于所述参考面,所述参考面平行于所述激光退火窗装置所在的平面; 光学镜头,设置于所述容纳腔内;所述光学镜头沿第二方向延伸,且与所述第一透光孔至少部分重叠,所述光学镜头沿第三方向的尺寸小于所述容纳腔沿第三方向的尺寸;所述第三方向平行于所述参考面,且垂直于所述第二方向; 至少一个驱动结构,沿第三方向,所述驱动结构设置于所述光学镜头的一侧,所述驱动结构被配置为驱动所述光学镜头在所述容纳腔内沿第三方向运动; 其中,所述壳体包括: 外框,至少设置于所述光学镜头在第三方向上相对的两侧; 盖板,沿第一方向,设置于所述外框和所述光学镜头的一侧;所述盖板包括: 盖板主体,与所述参考面平行设置;沿第一方向,所述盖板主体与所述外框之间具有间距,且所述第一透光孔设置于所述盖板主体上;所述光学镜头靠近所述盖板主体的一面与所述盖板主体相接触; 延伸部,至少与所述盖板主体在第三方向上相对的两侧边缘连接;所述延伸部的远离所述盖板主体的一端,与所述外框靠近所述盖板主体的一侧连接; 所述盖板主体、所述延伸部和所述外框形成安装间隙; 所述激光退火窗装置还包括: 密封组件,设置于所述安装间隙内;所述盖板主体靠近所述光学镜头的一面、所述光学镜头的侧面、及所述外框靠近所述盖板主体的表面分别与所述密封组件相接触,以密封所述第一透光孔与所述光学镜头之间的间隙;所述密封组件可沿第三方向发生形变,以配合所述光学镜头沿第三方向的运动。
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