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龙图腾网获悉江苏晋誉达半导体股份有限公司申请的专利一种自动去胶剥离机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114188246B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111487747.0，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种自动去胶剥离机是由刘毅;黄鹏飞;蒋磊设计研发完成，并于2021-12-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种自动去胶剥离机在说明书摘要公布了：本发明公开了一种自动去胶剥离机，包括机架；用于放置晶圆盒的载片台；安装于机架上的喷淋去胶剥离装置，用于对晶圆上下表面喷淋去胶；安装于机架上的浸泡去胶剥离装置，用于将晶圆浸泡在剥离液中去胶；安装于机架上的清洗装置，用于将晶圆上下表面清洗；安装于机架上的晶圆转移手臂，用于移栽晶圆，所述载片台、喷淋去胶剥离装置、浸泡去胶剥离装置和清洗装置分别位于晶圆转移手臂的外围。该自动去胶剥离机能够实现晶圆的浸泡去胶、喷淋去胶和清洗，从而提高了去胶的效率和去胶效果。

本发明授权一种自动去胶剥离机在权利要求书中公布了：1.一种自动去胶剥离机，其特征在于：包括： 机架； 用于放置晶圆盒的载片台； 安装于机架上的喷淋去胶剥离装置，用于对晶圆上下表面喷淋去胶； 安装于机架上的浸泡去胶剥离装置，用于将晶圆浸泡在剥离液中去胶； 安装于机架上的清洗装置，用于将晶圆上下表面清洗； 安装于机架上的晶圆转移手臂，用于移栽晶圆，所述载片台、喷淋去胶剥离装置、浸泡去胶剥离装置和清洗装置分别位于晶圆转移手臂的外围；所述浸泡去胶剥离装置包括浸泡机座，所述浸泡机座上设置有浸泡腔体，所述浸泡腔体上设置有方便晶圆转移手臂进出料的操作窗口，所述浸泡机座上位于浸泡腔体的外部设置有浸泡底座，所述浸泡底座上竖直升降安装有浸泡升降座，该浸泡升降座由第一升降动力装置驱动，所述浸泡升降座上设置有浸泡安装座，该浸泡安装座设置有处于浸泡腔体上方的浸泡安装板，所述浸泡安装板上安装有用于悬挂并且调节花篮角度的悬挂调节装置，所述悬挂调节装置的下端伸入到浸泡腔体内悬挂浸泡腔体内的花篮，所述浸泡腔体上设置有与剥离液供应系统连通的进液管，浸泡腔体内设置有用于加热剥离液的加热装置，所述浸泡腔体上位于操作窗口处活动安装有仓门，所述浸泡腔体上设置有驱动所述仓门关闭或打开的开闭动力装置；所述悬挂调节装置包括平行的第一悬挂杆和第二悬挂杆，所述第一悬挂杆的上端固定在浸泡安装板上，所述第一悬挂杆的下端铰接在花篮的上端一侧，所述第二悬挂杆轴向滑动安装于浸泡安装板上且由轴向动力装置驱动，所述第二悬挂杆的下端铰接在花篮上端的另一侧；所述轴向动力装置包括固定于浸泡安装板上的无杆电缸，所述无杆电缸的滑动部件的滑动方向为竖直方向，所述无杆电缸的动力端通过浸泡连接座与第二悬挂杆的上端连接，所述浸泡连接座包括L形的浸泡连接板，所述浸泡连接板的一个板部通过螺栓固定在无杆电缸的滑动部件上，所述浸泡连接板的另一个板部的下端通过螺栓连接有浸泡连接套，所述浸泡连接套上螺纹连接有圆柱螺套，所述第二悬挂杆的上端设置成球头部，所述圆柱螺套上设置有方便球头部连接的球形内孔，所述球头部安装于圆柱螺套的球形内孔内。

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