显示器生产服务株式会社朴庸硕获国家专利权
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龙图腾网获悉显示器生产服务株式会社申请的专利阻尼系统、包括阻尼系统的基板处理装置和基板处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114639614B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111442666.9，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权阻尼系统、包括阻尼系统的基板处理装置和基板处理方法是由朴庸硕;赵才衍设计研发完成，并于2021-11-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本阻尼系统、包括阻尼系统的基板处理装置和基板处理方法在说明书摘要公布了：本发明提供实时监控气体的压差而在超过所设定的压差范围的情况下自动调节排气量并且在紧急情况下能够进行迅速的手动调节的阻尼系统，和可以实时地自动控制工艺室内的压差并提高工艺环境的稳定性和成品的成品率的基板处理装置和基板处理方法。为此，本发明公开的阻尼系统包括：壳体，具有气体通过的流路；轴部件，可旋转地结合到壳体；调节板，设置在流路上，与轴部件结合而联动并调节流路的开度；压力传感器，测量第一排气压力与第二排气压力之间的压力差；驱动部，使所述轴部件旋转；以及控制部，控制驱动部，以使第一排气压力与第二排气压力之间的压力差与预先设定的基准压力差一致。
本发明授权阻尼系统、包括阻尼系统的基板处理装置和基板处理方法在权利要求书中公布了：1.一种阻尼系统，其特征在于，包括： 壳体，具有气体通过的流路； 轴部件，可旋转地结合到所述壳体； 调节板，设置在所述流路上，与所述轴部件结合而联动并调节所述流路的开度； 压力传感器，其一部分在所述调节板的上游露出，另一部分在所述调节板的下游露出，用于测量所述调节板的上游的第一排气压力与所述调节板的下游的第二排气压力之间的压力差； 驱动部，使所述轴部件旋转； 控制部，控制所述驱动部，使得所述第一排气压力与所述第二排气压力之间的压力差与预先设定的基准压力差一致； 控制箱，结合到所述壳体的上部，收纳所述驱动部和所述控制部；以及 手动调节部，与所述轴部件结合，调节所述调节板的开度， 所述手动调节部包括：连接部件，与所述轴部件结合而联动，并且在外表面处具有结合孔；调节棒，其一端部结合到所述结合孔，使所述连接部件旋转来调节所述调节板的开度；以及引导狭缝，形成在所述控制箱处，被所述调节棒的另一端部贯通，引导所述调节棒的移动。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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