成都海光微电子技术有限公司詹扬扬获国家专利权
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龙图腾网获悉成都海光微电子技术有限公司申请的专利一种芯片良率的监测方法及装置、电子设备、存储介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113987954B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111322816.2,技术领域涉及:G06F30/27;该发明授权一种芯片良率的监测方法及装置、电子设备、存储介质是由詹扬扬设计研发完成,并于2021-11-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种芯片良率的监测方法及装置、电子设备、存储介质在说明书摘要公布了:本发明实施例公开一种芯片良率的监测方法及装置、电子设备、存储介质,涉及半导体加工技术领域,能够有效提高芯片良率监测的准确率和时效性。所述方法包括:根据芯片在预设测试中的测试结果,分别确定各监测对象的良率信息,其中,所述良率信息包括芯片良率和或良率损失,每个所述监测对象包括以下任一种:同一批次的芯片、同一晶圆上的芯片、同一晶圆上同一预设区域内的芯片;根据所述良率信息,将各所述监测对象划分为至少两个对象集合;从所述至少两个对象集合中查找目标集合,以根据所述目标集合中各监测对象对应的工艺信息调整芯片工艺,其中,所述目标集合携带所述良率信息波动的预警信息。本发明可用于半导体加工的良率控制。
本发明授权一种芯片良率的监测方法及装置、电子设备、存储介质在权利要求书中公布了:1.一种芯片良率的监测方法,其特征在于,包括: 根据芯片在预设测试中的测试结果,分别确定各监测对象的良率信息,其中,所述良率信息包括芯片良率和或良率损失,每个所述监测对象包括以下任一种:同一批次的芯片、同一晶圆上的芯片、同一晶圆上同一预设区域内的芯片; 根据所述良率信息,将各所述监测对象划分为至少两个对象集合; 从所述至少两个对象集合中查找目标集合,以根据所述目标集合中各监测对象对应的工艺信息调整芯片工艺,其中,所述目标集合携带所述良率信息波动的预警信息; 其中,所述从所述至少两个对象集合中查找目标集合包括以下至少一项: 根据各所述对象集合之间的所述良率信息的差异程度,从所述至少两个对象集合中查找目标集合; 根据各所述对象集合中所包含的所述监测对象的数量,从所述至少两个对象集合中查找目标集合; 根据各所述对象集合与预设集合规则的差异,从所述至少两个对象集合中查找目标集合。
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