罗伯特·博世有限公司H·韦伯获国家专利权
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龙图腾网获悉罗伯特·博世有限公司申请的专利用于传感器设备或麦克风设备的微机械构件获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113683050B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110538506.8,技术领域涉及:B81B7/02;该发明授权用于传感器设备或麦克风设备的微机械构件是由H·韦伯;A·朔伊尔勒;J·弗里茨;P·施莫尔格鲁贝尔;S·马赫;T·弗里德里希设计研发完成,并于2021-05-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于传感器设备或麦克风设备的微机械构件在说明书摘要公布了:本发明涉及一种用于传感器设备或麦克风设备的微机械构件,其具有:衬底;框架结构,其布置在衬底表面和或至少一个中间层上;膜片,其跨越由框架结构至少部分地围绕的内部体积,其中,内部体积以气密的方式如此密封,使得膜片能够借助存在于其膜片内侧上的内压p1与存在于其膜片外侧上的外压p2之间的压差而翘曲,其中,该微机械构件具有布置在内部体积中的弯曲梁结构,该弯曲梁结构具有固定在框架结构、衬底表面和或至少一个中间层上的至少一个锚固区域且具有至少一个自承载区域,该至少一个自承载区域通过至少一个耦合结构如此连接在膜片的膜片内侧上,使得至少一个自承载区域能够借助膜片的翘曲而弯曲。
本发明授权用于传感器设备或麦克风设备的微机械构件在权利要求书中公布了:1.一种用于传感器设备或麦克风设备的微机械构件,所述微机械构件具有: 具有衬底表面10a的衬底10; 框架结构14,所述框架结构布置在所述衬底表面10a和或至少部分地覆盖所述衬底表面10a的至少一个中间层12a,12b上;以及 膜片16,所述膜片如此跨越由所述框架结构14至少部分地围绕的内部体积18,使得所述膜片16的膜片内侧16a与所述内部体积18邻接; 其中,所述内部体积18以气密的方式如此密封,使得所述膜片16能够借助存在于其膜片内侧16a上的内压p1与存在于所述膜片16的背离所述膜片内侧16a地定向的膜片外侧16b上的外压p2之间的压差而翘曲, 其特征在于 布置在所述内部体积18中的弯曲梁结构34,所述弯曲梁结构具有固定在所述框架结构14、所述衬底表面10a和或所述至少一个中间层12a,12b上的至少一个锚固区域36并且具有至少一个自承载区域38,所述至少一个自承载区域通过至少一个耦合结构40如此连接在所述膜片16的膜片内侧16a上,使得所述至少一个自承载区域38能够借助所述膜片16的翘曲而弯曲。
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