PSK控股公司朴钟范获国家专利权
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龙图腾网获悉PSK控股公司申请的专利基板处理装置及基板处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115050685B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110444016.1，技术领域涉及：H01L21/687；该发明授权基板处理装置及基板处理方法是由朴钟范设计研发完成，并于2021-04-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置及基板处理方法在说明书摘要公布了：本发明公开一种根据基板或基板处理工艺控制在基板上安置的夹圈的个数，从而，能够有效地防止基板的弯曲变形warpage的基板处理装置及基板处理方法。根据本发明的实施例的基板处理装置，包括：支撑卡盘，其用于支撑所述基板；及弯曲变形防止装置，其在所述支撑卡盘上支撑的所述基板的周围区域安置一个以上的夹圈，而向所述基板的周围区域施加荷重，从而，防止所述基板的弯曲变形。所述弯曲变形防止装置通过调整在所述基板的周围区域安置的所述夹圈的个数而调整向所述基板的周围区域施加的荷重。
本发明授权基板处理装置及基板处理方法在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，作为用于处理基板的基板处理装置，其特征在于，包括： 支撑卡盘，所述支撑卡盘用于支撑所述基板；及 弯曲变形防止装置，所述弯曲变形防止装置在所述支撑卡盘上支撑的所述基板的周围区域安置一个以上的夹圈，而向所述基板的周围区域施加荷重，从而，防止所述基板的弯曲变形， 并且，所述弯曲变形防止装置通过调整在所述基板的周围区域安置的所述夹圈的个数而调整向所述基板的周围区域施加的荷重， 其中，在所述基板的周围区域安置的夹圈的个数是根据沿着所述支撑卡盘的周围配置的多个销的升降高度调整的；以及 其中，多个所述销的升降高度是基于安置在所述支撑卡盘上的基板的材质决定的。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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