ASML荷兰有限公司H·A·J·克瑞姆获国家专利权
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龙图腾网获悉ASML荷兰有限公司申请的专利确定采样方案的方法、相关联的设备以及计算机程序获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115315662B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180023410.6，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权确定采样方案的方法、相关联的设备以及计算机程序是由H·A·J·克瑞姆;P·A·J·廷尼曼斯;J·A·L·J·瑞马克;J·S·威尔登伯格设计研发完成，并于2021-03-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本确定采样方案的方法、相关联的设备以及计算机程序在说明书摘要公布了：公开了一种确定采样方案的方法。该方法包括获得并行传感器描述，基于所述并行传感器描述和潜在量测位置来识别多个候选获取配置。在评估度量方面评估每个所述候选获取配置，并且基于所述评估来选择候选获取配置。将所选择的获取配置的相应量测位置添加到采样方案。
本发明授权确定采样方案的方法、相关联的设备以及计算机程序在权利要求书中公布了：1.一种确定采样方案的方法，所述采样方案描述衬底上的一组潜在的量测位置之中的量测位置的真子集；所述方法包括： 获得并行传感器描述，其描述能够执行并行量测的多个量测传感器的布置； 基于所述并行传感器描述和所述潜在量测位置来识别多个候选获取配置，其中每个候选获取配置描述所述传感器描述相对于所述衬底的特定位置，并且因此描述所述潜在量测位置中的相应的一个或多个量测位置； 在评估度量方面评估所述候选获取配置中的至少一些； 基于所述评估来选择候选获取配置；并且 将所述采样方案限定为包括针对于每个所选择的获取配置的相应量测位置的方案。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人ASML荷兰有限公司，其通讯地址为：荷兰维德霍温；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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