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龙图腾网获悉上海至纯洁净系统科技股份有限公司;至微半导体(上海)有限公司申请的专利一种酸洗槽去除气泡装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112717478B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011611009.8，技术领域涉及：B01D19/02；该发明授权一种酸洗槽去除气泡装置是由张展;邓信甫;徐铭;陈佳炜设计研发完成，并于2020-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种酸洗槽去除气泡装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种酸洗槽去除气泡装置，涉及到去气泡技术领域，包括帮浦、酸液过滤器、分流管路、导流结构和破气泡结构，其中，酸液过滤器位于帮浦的上侧，且帮浦连接酸液过滤器，酸液过滤器的出液口连接分流管路；分流管路包括第一管路和第二管路，第一管路的一端与出液口连接，第一管路的另一端与第二管路的一端连接，其中，第二管路的一端内壁上设有一液体回流面和设于液体回流面下侧的破气泡结构，第二管路的一端内壁上还设有一导流结构，导流结构与破气泡结构相正对。其利用简易的分流管路与帮浦的推动力作用，即可产生将液泡分离的作用，达成在输送各种溶剂或是混合溶液至晶圆湿法工艺区移除气泡的具体作用。

本发明授权一种酸洗槽去除气泡装置在权利要求书中公布了：1.一种酸洗槽去除气泡装置，其特征在于，包括帮浦、酸液过滤器、分流管路、导流结构和破气泡结构，其中，所述酸液过滤器位于所述帮浦的上侧，且所述帮浦连接所述酸液过滤器，所述酸液过滤器的出液口连接所述分流管路； 所述分流管路包括第一管路和第二管路，所述第一管路的一端与所述出液口连接，所述第一管路的另一端与第二管路的一端连接，其中，所述第二管路的一端内壁上设有一液体回流面和设于所述液体回流面下侧的破气泡结构，所述第二管路的一端内壁上还设有一导流结构，所述导流结构与所述破气泡结构相正对； 还包括加热缓冲器，所述加热缓冲器位于所述帮浦的上侧，所述加热缓冲器连接所述帮浦和所述酸液过滤器；还包括主流管路，所述加热缓冲器与所述酸液过滤器之间、所述加热缓冲器与所述帮浦之间以及所述帮浦与所述酸液过滤器之间分别通过一所述主流管路连接； 所述破气泡结构的上端所在的位置高于所述导流结构的最高点，所述破气泡结构呈一斜切的块状结构，所述块状结构的下端具有第一尖端，所述块状结构靠近所述导流结构的一侧具有第二尖端，所述第二尖端向上突起并高于所述导流结构的最高点所在的位置。

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