北京大学马文君获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉北京大学申请的专利一种高效率极紫外辐射产生方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114624959B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011453395.2，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种高效率极紫外辐射产生方法及系统是由马文君;寿寅任;王鹏杰;徐诗睿;赵家瑞;颜学庆设计研发完成，并于2020-12-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高效率极紫外辐射产生方法及系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种高效率极紫外辐射产生方法，通过激光打固体靶产生极紫外辐射，对激光进行聚焦，聚焦后的激光作用在靶材上，聚焦前的激光源为飞秒激光源；靶材为满足平均密度介于常规固体和常规气体之间、微米尺寸下分布均匀、边界陡峭特点的材质，本发明还公开了一种高效率极紫外辐射产生系统，包括激光源1和靶2，在激光源1与靶2之间还设置有离轴抛物面镜聚焦装置4，在激光源1与离轴抛物面镜聚焦装置4之间设置有等离子体镜装置5。根据本发明所述的高效率极紫外辐射产生方法及装置，具有产生极紫外辐射效率高、谱带宽、光谱可调等诸多优点。
本发明授权一种高效率极紫外辐射产生方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种高效率极紫外辐射产生方法，其特征在于，通过飞秒级别激光打固体靶产生极紫外辐射；所述固体靶的靶材为满足平均密度为1～100mgcm3、边界陡峭特点的材质； 对激光进行聚焦，聚焦后的激光作用在靶材上，在激光聚焦前，主脉冲30皮秒前激光对比度不小于1010； 所述靶的靶材为纳米管泡沫材料，所述纳米管泡沫材料，是指原子在空间中无序排布形成纳米级框架结构的材料，其具有大量的纳米级孔隙结构，所述纳米管形成的框架结构上负载有金属原子； 聚焦后的激光峰值功率不低于1015Wcm2。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京大学，其通讯地址为：100871 北京市海淀区颐和园路5号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号