ASML荷兰有限公司J·D·特德罗获国家专利权
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龙图腾网获悉ASML荷兰有限公司申请的专利用于极紫外光源的目标材料储槽获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114830832B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080087548.8，技术领域涉及：H05G2/00；该发明授权用于极紫外光源的目标材料储槽是由J·D·特德罗设计研发完成，并于2020-11-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于极紫外光源的目标材料储槽在说明书摘要公布了：一种用于极紫外EUV光源的装置包括主体。该主体包括：第一结构246，其包括第一壁；以及第二结构248，其包括第二壁，该第二壁永久地接合到该第一壁。该主体的内部203至少部分地由该第一壁和该第二壁限定。该第一壁包括第一金属化材料，并且该第二壁包括第二金属化材料，该第二金属化材料具有与该第一金属化材料不同的热导率。该主体的该内部被配置为流体连接到该EUV光源的目标供应系统。
本发明授权用于极紫外光源的目标材料储槽在权利要求书中公布了：1.一种用于极紫外EUV光源的装置，所述装置包括： 主体，包括： 第一结构，包括第一壁，所述第一壁在Y方向上从第二端延伸到第一端；以及 第二结构，包括第二壁，所述第二壁在所述Y方向上从第二端延伸到第一端，其中所述第二壁的所述第二端永久地接合到所述第一壁的所述第一端，其中所述主体的内部至少部分地由所述第一壁和所述第二壁限定，所述第一壁包括第一金属化材料，并且所述第二壁包括第二金属化材料，所述第二金属化材料具有与所述第一金属化材料不同的热导率，并且其中 所述主体的所述内部被配置为流体连接到所述极紫外EUV光源的目标供应系统。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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