买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉华为技术有限公司;南京理工大学申请的专利MEMS器件获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114057154B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010761268.2，技术领域涉及：B81B7/00；该发明授权MEMS器件是由施芹;胡启方;裘安萍;徐景辉设计研发完成，并于2020-07-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本MEMS器件在说明书摘要公布了：一种MEMS器件，属于电子技术领域，可应用于手机、智能家居、物联网Internetofthings，IoT、自动驾驶等领域。该MEMS器件包括管壳、底板和第一惯性组件。第一惯性组件位于底板与管壳形成的封装空间内。底板面向封装空间的表面具有第一对位部，第一惯性组件具有第一安装部。第一安装部与第一对位部的形状匹配。也即，该MEMS器件自带安装对准基准，第一安装部与第一对位部连接，就可以将第一惯性组件以预设角度安装在底板上。工艺简单，安装成本较低。并且，由于第一惯性组件的底部不直接和底板连接，所以可以降低因封装应力而导致的各项零位误差。

本发明授权MEMS器件在权利要求书中公布了：1.一种微机电系统MEMS器件，其特征在于，所述MEMS器件包括：管壳、底板和第一惯性组件； 所述底板与所述管壳形成封装空间，所述第一惯性组件位于所述封装空间内； 所述底板面向所述封装空间的表面具有第一对位部，所述第一惯性组件具有第一安装部，所述第一安装部与所述第一对位部的形状匹配；所述第一安装部与所述第一对位部连接，以将所述第一惯性组件以预设角度安装在所述底板上，所述预设角度大于0度且小于180度； 所述第一惯性组件包括惯性器件、柔性基板和处理器，所述惯性器件、所述柔性基板的第一部分与所述处理器依次堆叠连接，所述惯性器件具有所述第一安装部，所述柔性基板中除所述第一部分之外的第二部分与所述底板面向所述封装空间的表面连接； 所述惯性器件的第一电极与所述处理器的第一输出电极进行电性连接，所述惯性器件的第二电极与所述处理器的输入电极进行电性连接，所述处理器的第二输出电极与所述第一部分的电极进行电性连接，所述第一部分的电极与所述第二部分的电极进行电性连接，所述第二部分的电极与所述底板面向所述封装空间的表面的电极进行电性连接。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人华为技术有限公司;南京理工大学，其通讯地址为：518129 广东省深圳市龙岗区坂田华为总部办公楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。