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龙图腾网获悉浙江大学申请的专利一种柔性触觉传感器阵列及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111609955B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010437219.3，技术领域涉及：G01L1/20；该发明授权一种柔性触觉传感器阵列及其制备方法是由蔡民;宋吉舟设计研发完成，并于2020-05-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种柔性触觉传感器阵列及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种柔性触觉传感器阵列及其制备方法，其中柔性触觉传感器阵列包括柔性基底和触觉传感阵列；触觉传感阵列包括N×M个触觉传感单元和互联线网络；触觉传感单元为一个被共形的聚合物包裹封装的栅状金属箔，且每个栅状金属箔上集成了原位硬质微柱阵列；互联线网络包括垂直交叉的N条行线和M条列线，在交叉点行线与列线被交叉绝缘垫彼此绝缘，行线与列线均被共形的聚合物包裹封装；柔性基底与触觉传感阵列键合为整体。本发明根据金属箔的电阻受压改变的机理，构造了原位硬质微柱挤压栅状金属箔的结构，并以此为触觉传感单元结合互联线网络构造了新型触觉传感器阵列，具有高稳定性、高灵敏度、低迟滞、高集成度等优点。

本发明授权一种柔性触觉传感器阵列及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种柔性触觉传感器阵列，包括柔性基底和触觉传感阵列，其特征在于，所述触觉传感阵列包括N×M个触觉传感单元以及连接每个触觉传感单元的互联线网络； 所述的触觉传感单元为一个被共形的聚合物包裹封装的栅状金属箔，所述的栅状金属箔上集成了硬质微柱阵列；所述硬质微柱阵列中的硬质微柱形状为长方体、圆柱体或锥体，材料为光固化树脂、光固化聚合物或光刻胶； 所述互联线网络包括垂直交叉的N条行线和M条列线，在行线和列线的交叉点设有交叉绝缘垫，所述的行线与列线均被共形的聚合物包裹封装； 所述的触觉传感阵列键合在柔性基底上； 所述的柔性触觉传感器阵列采用如下制备方法进行制备： （1）采用PDMS液态预聚物，在硅片上通过旋涂和热固化制得柔性基底； （2）将PI液态预聚物旋涂在硅片上并热固化制得PI底层；在PI底层上光刻、显影、金属镀膜和金属剥离后，制得矩波型栅状金属箔和互联线网络于PI底层上，期间要对互联线网络的交叉点进行绝缘处理； 将PI液态预聚物旋涂于上述硅片，并热固化形成PI封装层，并通过干法刻蚀PI，使其与矩波型栅状金属箔和互联线网络共形，从而形成夹心结构； 采用光敏环氧树脂预聚物，在夹心结构上通过光刻技术制得硬质微柱后，完成触觉传感阵列的制备；采用化学试剂浸泡的方式将触觉传感阵列从硅片上释放； （3）使用水溶性胶带将释放的触觉传感阵列平整拾取，阵列一面与胶带完全粘附，另一面暴露；在暴露面上沉积一薄层铬和一薄层二氧化硅； 将柔性基底置于等离子清洗机中用氧气处理后，迅速将黏有触觉传感阵列的水溶性胶带与柔性基底热压键合为一整体，再其置于水中使得水溶性胶带完全溶解，从而得到柔性触觉传感器阵列。

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