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麦克德米德乐思公司埃里克·雅各布森获国家专利权

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龙图腾网获悉麦克德米德乐思公司申请的专利用于制造镍互连件的组合物和方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113366156B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080009400.2,技术领域涉及:C25D7/12;该发明授权用于制造镍互连件的组合物和方法是由埃里克·雅各布森;孙绍鹏;埃利·纳贾尔;T·理查德森;文森特·帕内卡西奥;邵文波;凯尔·惠滕设计研发完成,并于2020-01-31向国家知识产权局提交的专利申请。

用于制造镍互连件的组合物和方法在说明书摘要公布了:一种用于通路填充或势垒镍互连件制造的镍电沉积组合物,该镍电沉积组合物包含:a镍离子源;b一种或多种极化添加剂;和c一种或多种去极化添加剂。该镍电沉积组合物可包含各种添加剂,包括合适的酸、表面活性剂、缓冲剂和或应力调节剂,以产生通路和沟槽的自下而上填充。

本发明授权用于制造镍互连件的组合物和方法在权利要求书中公布了:1.一种用于在微电子器件中用镍或从由NiCo、NiMo和NiCoFe组成的组中选出的镍合金填充通路和或沟槽的镍电沉积组合物,所述镍电沉积组合物包含: a镍离子源; b100至500ppm的一种或多种极化添加剂,其中所述一种或多种极化添加剂包含取代、多取代或未取代的杂环甜菜碱、或烯醇或它们的组合; c100至750mgL的一种或多种去极化添加剂,其中所述一种或多种去极化添加剂包含硫酰亚胺、磺酸盐、硫酸盐或它们的组合;以及 d50至100gL的应力调节剂,其中所述应力调节剂选自由以下项组成的组:氯化物、溴化物、磺酸盐、水杨酸盐、磺基水杨酸盐和磺酰亚胺; 其中所述组合物不含硼酸,并且 其中所述组合物被构造成通过所述通路和或沟槽的自下而上的填充从而完全填充微电子器件中的通路和或沟槽。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人麦克德米德乐思公司,其通讯地址为:美国康涅狄格州;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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